Разряд высокочастотный безэлектродный микроволновый

С 1958 г. микроволновых и высокочастотных безэлектродных разрядных устройств для получения атомов. Это позволило отказаться от находившихся в непосредственном контакте с газовым потоком металлических электродов, которые ранее использовали для генерации атомов в низкочастотном высоковольтном разряде. Таким образом, использование высокочастотных разрядов устраняет главную причину загрязнения продуктов разряда и позволяет получить более стабильный и чистый источник атомарных частиц [7а, 185, 186]. [c.292]

Тлеющие разряды получают при воздействии высокого постоянного или Переменного напряжения на газ, находящийся под пониженным давлением (менее 10 мм рт. ст.). Ранее при получении разрядов при постоянном токе или низкочастотных разрядов применяли разрядные трубки с впаянными в иих электродами (алюминий, железо), соединенными с мощным источником высокого напряжения (около 6 кВ, 100—200 мА). Однако вследствие того, что электроды могут химически или каталитически взаимодействовать с веществами, образующимися при разряде, а места впаивания металлических электродов, кроме того, чувствительны к воздействию термических и механических нагрузок, в настоящее время работают с безэлектродными> разрядами. При этом используемый в качестве источника энергии высокочастотный генератор либо подключают к колебательному контуру, работающему в области радиочастот (РЧ, иапример, 27 МГц), либо при помощи магнетрона или клистрона ои продуцирует излучение в микроволновой области (МВ, иапример, 2,5 ГГц). В соответствии с этим различают РЧ- и МВ-разряды. Соответствующие генераторы, применяемые в промышленности и в медицине, имеются в продаже. [c.126]

Фактически все современные количественные исследования атомарных реакций в струевых разрядных установках выполнены с использованием в качестве источника атомов или микроволнового, или высокочастотного разряда в смеси соответствующих молекул. Эти удобные, так называемые безэлектродные разряды полностью вытеснили ранее применявшиеся разряды частотой 50 Гц и с напряжением в несколько киловольт между парой металлических электродов, находящихся в контакте с газовым потоком. Тем самым гарантируется отсутствие в потоке загрязнений, образующихся на металлических поверхностях. [c.296]

Справочник химика 21

Химия и химическая технология