Инертные газы внедрение в мишень в процессе ионного

Можно ожидать, особенно при высоких энергиях облучения, что ионы инертных газов, внедренные в материал мишени (средняя глубина проникновения в медь ионов аргона с энергией 1 кэВ составляет приблизительно 10 А), влияют на коэффициент распыления. После достижения равновесных условий распыляемый материал мишени должен содержать атомы того вещества, ионами которого проводится облучение, если только эти атомы в результате процессов диффузии и испарения, стимулируемых ионной бомбардировкой, не покинут приповерхностный слой мишени С помощью электронного микроскопа было установлено, что ионы инерт- [c.373]