Маски для напыления размеры и допуски

Использование масок для напыления определяется, главным образом, их стоимостью, характером контура рисунка и точностью его изготовления (допусками). Перечень всех этих факторов приводится в табл. 1. Сравнение минимальных размеров отверстий с учетом допусков при различных методах показывает, что относительная точность размеров в основном ниже 10%. Из-за того, что в производстве полупроводниковых схем ширина получаемых линий обычно должна быть равна 0,025 мм и менее, маски для напыления в этой области применения не находят широкого использования. Исключение составляют маски, получаемые из молибденовой фольги с вытравленными в ней отверстиями для изготовления точечных металлических контактов (см. рис. 4). В этом случае требования к размеру пленки 0,1 мм с допуском 0,01 мм вполне обеспечиваются технологическим процессом. Другим примером применения масок для напыления является изготовление пленочных электродов на тонкой пленке двуокиси кремния для снятия вольт-амперных характеристик, необходимых при оценке качества диэлектрического слоя. В этом случае получение рисунка небольших размеров с высокой точностью не является очень важным — важнее сохранить высокую чистоту окисла. Если электроды изготавливаются фотолитографическим методом с последующим травлением, окисел в значительной степени загрязняется примесями. [c.568]

Справочник химика 21

Химия и химическая технология