Справочник химика 21

Химия и химическая технология

Статьи Рисунки Таблицы О сайте English

Распылительные ионные насосы запуск

    Часто утверждают, что ионно-распылительный насос можно включать при 10 мм рт. ст., однако запуск некоторых типов диодных насосов при таких высоких давлениях представляет определенную трудность. Для триодных насосов такой проблемы не существует, и они могут запускаться даже при р= 10" мм рт. ст. Однако быстрота откачки в этой области давлений мала, и для снижения давления от 10 до 10 2 мм рт.ст. требуется го же самое время как и для снижения давления от 10-2 до 10 мм рт. ст. [151]. Кроме того, в результате роста величины ионного тока при высоких стартовых давлениях увеличивается расход титана, в результате чего сокращается срок службы катода. [c.219]



Технология тонких пленок Часть 1 (1977) -- [ c.217 ]




ПОИСК





Смотрите так же термины и статьи:

Распылительные ионные насосы ионный ток



© 2025 chem21.info Реклама на сайте