Триодные ионные насосы

Часто утверждают, что ионно-распылительный насос можно включать при 10 мм рт. ст., однако запуск некоторых типов диодных насосов при таких высоких давлениях представляет определенную трудность. Для триодных насосов такой проблемы не существует, и они могут запускаться даже при р= 10" мм рт. ст. Однако быстрота откачки в этой области давлений мала, и для снижения давления от 10 до 10 2 мм рт.ст. требуется го же самое время как и для снижения давления от 10-2 до 10 мм рт. ст. [151]. Кроме того, в результате роста величины ионного тока при высоких стартовых давлениях увеличивается расход титана, в результате чего сокращается срок службы катода. [c.219]

На рис. 373 приведена схема магнитной системы триодного насоса МаРТ также отечественного производства. В корпусе из коррозионностойкой стали размещен электродный блок, состоящий из анодной решетки и двух титановых (титан ВТ-1-1) катодных решеток, собранных на керамических изоляторах. Роль коллектора ионов выполняет стенка корпуса насоса. [c.429]

В триодном насосе, как и в насосе с гребенчатым катодом, значительная часть ионов падает на поверхность под малым углом скольжения, [c.194]

Иногда может оказаться желательной ионная бомбардировка пленки в процессе ее осаждения однако можно указать несколько причин, по которым иойное облучение подложки во время осаждения пленки стремятся свести к минимуму. Как известно, например, из работы триодных гетерно-ионных насосов, в пленке осаждаемой со смещением, особенно при высоких напряжениях смещения, накапливается большое число атомов инертного газа. Пленки, получаемые методом ионного распыления, могут загрязняться материалом подложки или держателя подложки, поскольку распыление подложки и держателя может происходить из областей, находящихся в зоне разряда и закрытых от мишени, т. е. когда [c.368]

Разработан триодный магниторазрядный насос МАРТ, который благодаря двухпотенциальной триодной схеме обладает повышенной быстротой откачки инертных газов. Анодная и две катодные решетки собраны на керамических изоляторах. Роль коллектора ионов выполняет корпус насоса, его напряжение — промежуточное между напряжениями анода и катода. Часть ионов с небольшой энергией оседает на коллекторе и покрывается напыляемым титаном, при этом сам коллектор не распыляется из-за слабой бомбардировки. Поэтому насос МАРТ ие подвержен аргонной болезни, он имеет быстроту откачки по воздуху 30, по аргону 10 л1сек предельный вакуум 10 ° тор. [c.85]

Эффективным способом увеличения скорости откач ки насоса по инертным газам является также исполь зование трехэлектродной системы, в которую, помимо катода и анода, имеющих ячеистую структуру, вводится еще коллектор, потенциал которого имеет промежуточное значение между потенциалом анода и катода. В таком насосе, как и в насосе диодного типа, разряд возникает между анодом и расположенными по обе стороны от него катодами. Образующиеся в разрядном промежутке положительные ионы под влиянием электрического поля движутся к катодам, при этом одна часть ионов, ударяющихся о поверхность ячеек катода, вызывает распыление титана. Вторая часть ионов пролетает через ячейки. Однако энергия этих ионов недостаточна, чтобы вызвать распыление материала коллектора. Вместе с тем значительная часть распыленного материала катода, пролетая сквозь катодные ячейки, оседает на коллекторе, замуровывая приходящие туда медленные ионы. Таким образом, возникает значительная часть не-распыляемой поверхности, в которую внедряются ионы, что значительно улучшает условия откачки. Так, например, быстрота откачки элементарной анодной ячейки триодного типа по сравнению с аналогичной ячейкой диодного тина по азоту возрастает в 4 раза, а по аргону— более чем в 10 раз. [c.110]

Справочник химика 21

Химия и химическая технология