Осаждение под действием паровой фазы, метод

Запатентован 185] метод получения металлических пленок сурьмы осаждением из паровой фазы. После осаждения пленку нагревают и подвергают действию кислорода, водорода или паров воды. Затем металлическую пленку покрывают изолирующим материалом, например окисью кремния. [c.248]

Концепция инверсии фаз включает широкий круг различных методик, таких, как испарение растворителя, осаждение с контролируемым испарением, термическое осаждение, осгокдение под действием паровой фазы, осаждение путем погружения. Большинство мембран, полученных с помощью фг13овой инверсии, приготовлены именно последним методом. [c.95]

Справочник химика 21