ПОИСК Статьи Рисунки Таблицы Смотрите так же термины и статьи: Алюминия окись, пленки, получение осаждением из паровой фазы ОСАЖДЕНИЕ ПЛЕНОК РАЗЛОЖЕНИЕМ МЕТАЛЛООРГАНИЧЕСКИХ СОЕДИНЕНИЙ ИЗ ПАРОВОЙ ФАЗЫ И РАСТВОРОВ Способы разложения МОС в паровой фазе Осаждение металлов из паровой фазы Осаждение под действием паровой фазы Осаждение под действием паровой фазы, метод Процесс осаждения из паровой фазы нри распаде МОС. Факторы, влияющие на процесс