Вакуумные напылительные установки и линии

ВАКУУМНЫЕ НАПЫЛИТЕЛЬНЫЕ УСТАНОВКИ И ЛИНИИ [c.267]

Вакуумное напылительное оборудование, несмотря на его многообразие, может быть разделено на следующие основные группы вакуумные установки периодического действия вакуумные установки непрерывного действия и конвейерные линии непрерывного действия. [c.267]

Современные напылительные установки и линии, помимо вакуумных систем, состоящих из рабочих камер, насосов, шлюзов, затворов, вентилей, вакуумметров и других элементов, могут содержать (в зависимости от назначения установки или линии) следующие механизмы и устройства, предназначенные для выполнения того или иного технологического процесса механизмы для смены и совмещения масок с подложками, устройства для нагрева и охлаждения подложек испарители загрузочные и разгрузочные шлюзовые камеры контрольно-регули- [c.267]

В гл. 3, которая написана автором совместно е инж. В. Е. Минайчевым, описывается вакуумное оборудование и приборы для измерения технологических параметров, применяемые при напылении тонких пленок, приводятся конструкции вентилей, затворов, ловушек и испарителей, используемых в напылительных установках, и показаны типовые конструкции напылительных установок и линий. [c.6]

Справочник химика 21

Химия и химическая технология