Вакуумное напылительное оборудование

ВАКУУМНОЕ НАПЫЛИТЕЛЬНОЕ ОБОРУДОВАНИЕ [c.154]

Вакуумное напылительное оборудование, несмотря на его многообразие, может быть разделено на следующие основные группы вакуумные установки периодического действия вакуумные установки непрерывного действия и конвейерные линии непрерывного действия. [c.267]

Желание повысить производительность напылительного оборудования, а также обеспечить возможность изготовления компонентов в однородных условиях привело к созданию автоматизированных установок непрерывного действия со шлюзовой загрузкой. Непрерывная подача подложек в рабочую камеру устраняет необходимость в остановке работы вакуумной системы и сообщении рабочей камеры с атмосферой при переходе от одной партии изделий к другой. Это, во-первых, обеспечивает однородность технологических процессов, во-вто-рых, повышает производительность. [c.293]

Процесс очистки подложки требует, чтобы были разорваны связи как между молекулами самой примеси, так и между молекулами этой примеси и подложки. Это может быть достигнуто как химическими средствами, например, очисткой в растворителе, так и приложением достаточной энергии для испарения примеси, например, нагревом или ионной бомбардировкой. Как правило, желательно ограничить процесс очистки удалением только слоя загрязнения, однако часто оказывается приемлемым также и слабое подтравливание материала самой подложки, что обеспечивает лучшее качество процесса очистки. Некоторые методы очистки требуют обработки подложки или использования растворителей и поэтому должны применяться вне вакуумной системы. Осуществление методов физической очистки обычно сопровождается установкой оборудования для нагрева подложки или бомбардировки ионами в напылительной системе. [c.538]

В гл. 3, которая написана автором совместно е инж. В. Е. Минайчевым, описывается вакуумное оборудование и приборы для измерения технологических параметров, применяемые при напылении тонких пленок, приводятся конструкции вентилей, затворов, ловушек и испарителей, используемых в напылительных установках, и показаны типовые конструкции напылительных установок и линий. [c.6]

Справочник химика 21

Химия и химическая технология