Конструкции и описание крионасосов

КОНСТРУКЦИИ и ОПИСАНИЕ КРИОНАСОСОВ [c.212]

При наружном диаметре охлаждаемого резервуара, равном 200 мм, быстрота откачки паров воды крионасоса превышает 9000 л/с. Поскольку пары воды во многих случаях являются одним из основных компонентов откачиваемой среды, то встраивание такого насоса в откачиваемую систему повышает предельный вакуум и существенно сокращает время, необходимое для его получения. Так, например, в напылительной установке со стеклянным колпаком диаметром 450 мм и высотой 750 мм предельное давление 2-10 Па было достигнуто с помощью магнитного электроразрядного насоса с быстротой откачки 500 л /с за 100 мин, а при совместном использовании его с крионасосом описанной конструкции за это же время было достигнуто давление 2,6-10 Па [2-12]. [c.74]

Описание типовой конструкции крионасоса [6]. Конструкцию крионасоса в зависимости от конденсируемого газа можно условно разделить на две ступени. Первая, состоящая из жалюзийного экрана и цилиндрического кожуха (см. рис. 2.26), предназначена для конденсации паров воды. [c.117]

Удачной конструкцией в этом плане можно считать высоковакуумный наливной гелиевый крионасос, описание которого дано в работе [51 ]. На рис. 45 он изображен схематично. Контейнер 1 для жидкого гелия 2 изготовлен из нержавеющей стали. Поверхностью конденсации является лишь его днище 4. Для того чтобы свести к минимуму переконденсацию газов при изменении уровня жидкого гелия, контейнер имеет двойные стенки, пространство между которыми вакуумируется. Гелиевый контейнер смонтирован концептрично внутри контейнера с жидким азотом 3. Поверхность конденсации экранирована охлаждаемой ловушкой шевронного типа 5. Для снижения теплопритока излучением и для получения наименьшего равновесного давления водорода поверхность конденсатора покрыта пленкой серебра, а алюминиевые пластины шевронной ловушки анодированы. Такой насос крепится к откачиваемому объекту с помощью фланца 6 и может более месяца работать без дозаправки гелием, обеспечивая вакуум ниже 10" Па. Наливной криоконденсационный насос, рассмотренный выше, весьма удобен и достаточно экономичен для поддержания сверхвысокого вакуума. В области же среднего вакуума при значительных тепловых нагрузках на конденсатор желательно использовать холод отходящих паров хладагента. Наиболее радикально этот вопрос решается путем монтажа холодопроизводящей установки непосредственно в откачиваемом объекте [4,68]. [c.109]

Справочник химика 21

Химия и химическая технология