Насос магнитный электроразрядный

Рис. 2-13. Простейший магнитно-электроразрядный насос.

Рис. 2-16. Схематическое изображение конструкций отечественных магнитно-электроразрядных насосов, а —НЭМ-100-2 6 —НЭМ-300-1.

Основные данные отечественных магнитно-электроразрядных насосов приведены в табл. 2-2. [c.108]

На рис. 2-14 показана зависимость скорости откачки и производительности магнитно-электроразрядного насоса от давления в откачиваемом объеме. Как видно из приведенных кривых, скорость откачки насоса практически постоянна в диапазоне давлений от 5-10- до 5-10- мм рт. ст., снижаясь как при уменьщении, так и при увеличении давления. Так, например, при давлении 10- мм рт. ст. скорость откачки составляет 40% от номинальной, а при давлении 10 мм рт. ст. снижается до нескольких процентов. Производительность насоса увеличивается с ростом давления и имеет максимум при давлении 7-10- мм рт. ст. Рост производительности насоса с давлением связан с тем, что число сорбированных молекул (т. е. масса откачиваемого газа) зависит от интенсивности ионизации и скорости распыления ти- [c.106]

Рис. 2-14. Зависимость скорости откачки (/) и производительности (2) магнитно-электроразрядного насоса от давления.

Простейший магнитно-электроразрядный насос (рис. 2-13) состоит из двух плоских катодных пластин/, изготовленных из технического титана. Между катодными пластинами расположен анод 2 в виде кольца или рамки. Корпус насоса изготовлен из нержавеющей немагнитной стали и помещен между полюсами постоянного магнита с напряженностью поля в несколько сотен эрстед. Между ка,тодами И анодом прикладывается на- [c.105]

Высокое предельное разрежение и безмасляную атмосферу остаточных газов, практически не содержащую тяжелых углеводородов, обеспечивают насосы, использующие распыление титана. В частности, титановые насосы магнитно-электроразрядного типа обладают целым рядом достоинств. В процессе эксплуатации они 9—261 129 [c.129]

Электроразрядные насосы. В электроразрядных сорбционно-ионных насосах термическое испарение титана заменено катодным распылением. На фиг, 358 показаны электроразрядные сорбционно-ионные насосы, которые характеризуются тем, что у них ионизатор построен по типу магнитного электроразрядного манометра. Насос, показанный на, фиг 358, а, работал в области давлений 10 —мм рт. ст. Катоды, являющиеся испарителями титана, изготовлены из титановой [c.496]

Кроме того, введение коллекторного электрода устраняет часто наблюдаемое в магнитно-электроразрядных насосах диодного типа явление периодического колебания разрядного тока и давления в диапазоне 10- — [c.110]

Рис. 2-17. Осесимметричная конструкция магнитно-электроразрядного насоса.

В магнитно-электроразрядных насосах используется откачивающее действие газового разряда в магнитном поле (разряд Пеннинга). [c.105]

ООО л/сек, а также агрегаты безмасляной откачки на основе магнитных электроразрядных насосов с быстротой действия 30, 100 и 300 л/сек. [c.108]

При использовании для предварительной откачки механических масляных насосов внутри магнитно-электроразрядного насоса могут постепенно скапливаться углеводороды. Когда электроды насоса имеют температуру, близкую к комнатной, углеводороды, имеющие [c.112]

Характер изменения мощности высоковольтного источника питания магнитно-электроразрядного насоса в зависимости от протекающего через него разрядного тока представлен на рис. 2-18. Начальный (пусковой) период работы насоса соответствует правой ветви кривой изменения мощности. По мере роста сопротивления раз-рядного промежутка разрядной ток умень-щается, а напряжение на электродах насоса возрастает. При разрядном токе, составляющем около 70% от тока короткого замыкания, кривая изменения мощности имеет [c.113]

Рис. 2-18. Вольт-амперная характеристика и кривая изменения мощности высоковольтного источника питания магнитно-электроразрядного насоса.

Насос очень чувствителен к попаданию паров масел, используемых в механических и пароструйных насосах. Поэтому лучше всего для предварительной откачки применять угольные или цеолитовые адсорбционные насосы, охлаждаемые жидким азотом. Наименьшее предельное разрежение получается при последовательном включении двух магнитно-электроразрядных насосов и их длительном прогреве. Существенную роль при этом играет так называемая аргонная обработка , заключающаяся в том, что в предварительно откаченный до 10- мм рт. ст. и нагретый до 200° С насос напускается аргон. Через 24 ч после обработки аргоном давление в насосе снижается до 10- ° мм рт. ст. и продолжает медленно понижаться, достигая через несколько недель своего предельного значения 10- мм рт. ст. Следует иметь в виду, что аргонная обработка полезна также для увеличения быстроты откачки насоса в диапазоне давлений 10 —10- мм рт. ст., который обычно определяет нижний предел работы магнитно-электроразрядных насосов при их промышленном применении. [c.114]

Кривая, показанная сплошной линией, соответствует процессу откачки рабочего объема в том случае, когда магнитно-электроразрядный насос был предварительно откачан до высокого вакуума и отсоединен от рабочего объема [c.131]

Следует отметить, что за последние годы все чаще начинают встречаться описания комбинаций различных откачных средств, целью которых является увеличение скорости откачки, расширение диапазона рабочих давлений и снижение времени, необходимого для получения сверхвысокого вакуума. Так, например, установлено, что быстрота действия геттерно-ионного насоса значительно возрастает, если параллельно к нему подсоединить небольшой магнитно-электроразрядный насос. Интерес представляет также комбинация магнитно-электроразрядного насоса с криогенным насосом, охлаждаемым жидким азотом. При этом в результате интенсивного вымораживания паров воды и углекислого газа время, необходимое для получения давления 1 10 мм рт. ст., сокращается в несколько раз. [c.134]

Фиг. 358. Электроразрядные насосы а — сорбционно-ионный насос с титановым испарителем и магнигным электроразрядным ионизатором б — магнитный электроразрядный насос 1 — катоды 2—аноды Я — направление магнитного поля.

Прогреваемая цельнометаллическая сверхвысоковакуумная система, откачиваемая магнитным электроразрядным насосом с металлическими уплотнениями при использовании затвора с прокладками из ви- [c.135]

Из рассмотрения приведенных данных видно, что скорости роста органических загрязнений в вакуумных системах, откачиваемых как магнитно-электроразрядны-ми, так и паромасляными насосами, снабженными азотными ловушками, имеют примерно одну и ту же величину. Хорошо сконструированная азотная ловушка при отсутствии резиновых уплотняющих прокладок снижает количество углеводородов в откачиваемом объеме до уровня, который получается при использовании ртутных пароструйных насосов парциальное давление углеводородов при этом становится ниже 1 10 ° мм рт. ст. [c.135]

При наружном диаметре охлаждаемого резервуара, равном 200 мм, быстрота откачки паров воды крионасоса превышает 9000 л/с. Поскольку пары воды во многих случаях являются одним из основных компонентов откачиваемой среды, то встраивание такого насоса в откачиваемую систему повышает предельный вакуум и существенно сокращает время, необходимое для его получения. Так, например, в напылительной установке со стеклянным колпаком диаметром 450 мм и высотой 750 мм предельное давление 2-10 Па было достигнуто с помощью магнитного электроразрядного насоса с быстротой откачки 500 л /с за 100 мин, а при совместном использовании его с крионасосом описанной конструкции за это же время было достигнуто давление 2,6-10 Па [2-12]. [c.74]

Высоковакуумные насосы работают в области давлений 10 —10 Па, сверхвысоковакуумные—в области давлений ниже 10 Па. К ним относятся молекулярные диффузионные паромасляные, диффузионные парортутные, турбомолекулярные, сорбционные (испарительные геттерные, электродуговые гет-терные, ионно-геттерные, магнитные электроразрядные) и криогенные насосы. Таким образом, для получения высокого и сверхвысокого вакуума могут использоваться насосы одинакового типа. [c.88]

МАГНИТНЫЕ ЭЛЕКТРОРАЗРЯДНЫЕ НАСОСЫ Принцип действия [c.148]

Рис. 7.41. Схема диодного магнитного электроразрядного насоса с источником питания.

Простота устройства и возможность работы в любом положении также выгодно отличают магнитные электроразрядные насосы от других. [c.150]

Магнитно-электроразрядный насос представляет собой двухэлектродный разрядный прибор с титановым катодом. Анод имеет вид цилиндра, находящегося между двумя пластинками катода. Вся система электродов находится в магнитном поле, параллельном оси анода. Магнитное поле превращает траектории электронов, летящих от катода к аноду, в спирали, что удлиняет путь электрона и, повышает вероятность ионизации молекул откачиваемого газа. При разряде материал катода, подвергающийся ионной бомбардировке, распыляется и титановая пленка служит геттером, связывающим молекулы откачиваемого газа. Электрораз-рядные насосы дают скорость откачки до 10 л1сек при площади титановых электродов 10X10 см. Они развивают предельный вакуум 10- -г-10 мм рт. ст. и используются как сторожа , поддерживающие высокий ва-5—646 65 [c.65]

Как уже отмечалось ранее, характерной особенностью магнитно-электроразрядных насосов является то, что при увеличении или уд1еньшении давления разрядный ток, а следовательно, и количество распыляемого [c.111]

В работе [Л. 86] производилось сопоставление эксплуатационных свойств паромасляного и магнитно-электроразрядного насосов при изменении газовой нагрузки. При этом было установлено, что если после напуска в откачиваемый объем газа до давления 10 мм рт. ст. паромасляный насос очень быстро (в течение нескольких минут) снижает давление до предельного (2-10 мм рт. ст.), то при использовании магнит-но-электрозарядного насоса даже для снижения давления с 3 10 до 3 10 мм рт. ст. требуется значительное время (около получаса). В работе делается вывод, что при больших или сильно меняющихся нагрузках (которые, кстати, обычно имеют место при очередном разогреве напыляемого вещества) следует избегать применения магнитно-электроразрядных насосов в качестве основного откачного средства. Выводы, сделанные в этой работе, могут быть объяснены при сравнении скоростных характеристик различного вида насосов (рис. 2-26). В отличие от паромасляного насоса ((кривая 2), имеющего постоянную быстроту действия вплоть до давления 1 Ю мм рт. ст., магнитный электроразрядный насос (кривая 4) снижает свою быстроту действия уже при давлении (3—5) 10 мм рт. ст. По этой причине при резких газовыделениях магнитно-электроразрядные насосы, не обладающие достаточно большой быстротой действия, могут захлебываться , и потребуется длительное время для восстановления в откачиваемом объеме рабочего вакуума. Резкое снижение быстроты действия при увеличении давления, длительный пусковой период (несколько часов), высокая селективность при откачке газовой смеси, большие габариты, вес и высокая стоимость существенно ограничивают применение магнитно-электроразрядных насосов в напылительных установках промышленного типа. [c.130]

На рис. 2-29 приведены кривые откачки непрогреваемой напылительной установки с помощью магнитно-электроразрядного и титанового испарительного насосов [Л. 104 [c.131]

Рис. 2-29. Кривые откачки непрогреваемой напылительной установки с помощью магнитного электроразрядного и титанового испарительного насосов.

Предварительная откачка производится с помощью двух (участок 1), а затем одного (участок 2) цеоли-тового насоса, после чего открывается вакуумный затвор и для откачки рабочего объема используется магнитно-электроразрядный насос (участок 3). В момент времени 4 затвор закрывается, и производится прогрев титанового испарителя для его обезгаживания. В момент времени 5 затвор вновь открывается, и дальнейшая откачка на участке 6 производится как магнитно-электро- разрядным, так и титановым испарительным насосом. После 2 ч непрерывной откачки в рабочем объеме не-9 131 [c.131]

Фирма Уаг1ап (США) в своих напылительных сверхвысоковакуумных установках использует комбинацию магнитно-электроразрядного, титаново-испарительного и криогенного насосов, что позволяет после 5-часового прогрева и 50 ч непрерывной откачки получить в рабочем объеме установки предельный вакуум 10- ° мм рт. ст. [c.134]

Непрогреваемая вакуумная система из нержавеющей стали со стеклянрым колпащзм диаметром 300 мм и прокладками из эластомера типа витон, откачиваемая магнитным электроразрядным насосом..........37 [c.135]

Другим недостатком манометра является то, что его прудно хорошо обезгазить. Этим и объясняется то, что с помощью одного только магнитного манометра не удается откачать вакуумную установку до очень высокого вакуума, несмотря на то, что сам манометр одновременно является насосом. Откачивающее действие манометра связано с адсорбцией ионов на постоянно обновляющемся слое металла на стенках манометра, возникающем вследствие распыления электродов. Поэтому магнитный электроразрядный манометр может так же, как и ионизационный манометр с горячим катодом, искажать результаты измерений. Нестабильность разряда вносит неточности в показания магнитного манометра, которые при давлении Ю- —10 мм рт. ст. примерно соответствуют 20%, что существенно больше, чем у ионизационного манометра. [c.147]

После предварительной откачки установки насосами производится обезгаживание стеклянных деталей путем их длительного прогрева в течение нескольких часов в условиях непрерывной откачки. После этого производится обезгаживание внутренних частей ионизационных манометров путем интенсивной электронной бомбардировки при положительном потенциале коллектора ионов. Затем перекрывают металлический вентиль, отсоединяя тем самым откачиваемый объем от паромасляного насоса, после чего откачка объема производится за счет работы конизационно-го манометра. Помимо ионизационного манометра с горячим катодом для получения сверхвысокого вакуума иногда используют также откачивающее действие магнитного электроразрядного манометра специальной конструкции. [c.51]

Очевидно, что описанная выше работа масс-спектромет-ра возможна при условии, что если в масс-спектрометрической камере со всеми ее деталями (манометром, катодом, ионизатором, входной и выходной диафрагмами, коллектором) будет поддерживаться достаточно высокий вакуум. С этой целью масс-спвктрометрический течеискатель снабжается собственной вакуумной системой (рис. 7-6). Масс-спектрометрическая камера 1 через металлическую ловуш.-ку 2 для вымораживания паров и вентиль 3 присоединяется к металлическому паромасляному насосу 4 и небольшому вращательному масляному насосу 5 для измерения давления используется магнитный электроразрядный манометр, помещенный, как уже указывалось, в масс-спектрометрической камере. [c.271]

Ионы легких газов (водород, дейтерий, гелий) не вызывают заметного распыления материала катода. Для них более существенным является второй механизм откачки ионы легких газов, имеющие малые размеры, могут внедряться в матерал катода и диффундировать в него. Таким образом, быстрота действия магнитного электроразрядного насоса зависит от рода газа или пара. [c.149]

Справочник химика 21

Химия и химическая технология