Спектральные аналитические линии технология

Интерес к аммиаку особой чистоты обусловлен все возрастающим использованием его в эпитаксиальной технологии. Известные методы химического [1], кулонометрического [2], газохроматографического [3, 4, 5] анализа аммиака на содержание воды недостаточно чувствительны, требуют большого количества вещества. Анализ аммиака на содержание примесей гидридов фосфора и серы не разработан. Перспективны в этой связи методы газовой микроволновой спектроскопии, для которых основным объектом наблюдения является вращательные спектры молекул в диапазоне длин волн от сантиметров до долей миллиметра. Традиционные для экспериментов с использованием когерентных радиометодов высокие чувствительность и разрешающая сила позволяют легко различа ть вращательные спектры близких по строению молекул, устраняя влияние спектра основного вещества на резулыагы анализа. Анализы методами микроволновой сиектроскопии выполнялись в хорошо освоенном сантиметровом диапазоне, где имеются серийные приборы [6]. Малая интенсивность спектральных линий в сантиметровом диапазоне ограничивает аналитическое применение микроволновой сиектроскопии. [c.64]

Справочник химика 21

Химия и химическая технология