Пленки интегральные

Интерес к исследованиям методов синтеза и физико-химических свойств различных алмазных материалов обусловлен, с одной стороны, необычными физико-химическими свойствами алмаза, благодаря которым он являются привлекательным объектом фундаментальной науки, а с другой стороны — богатыми перспективами прикладного использования таких объектов. Основные свойства алмаза в сравнении с кремнием представлены в табл. 17.1.11. Среди наиболее интересных свойств алмаза в первую очередь следует назвать его рекордную теплопроводность (более 2000 Вт/м К), высокую химическую стойкость, уникальную твёрдость и низкий коэффициент трения [59]. При этом такая важная характеристика электронных свойств полупроводникового алмаза, как подвижность носителей (а алмаз имеет рекордно высокие подвижности как электронов, так и дырок), определяется структурным совершенством алмазной кристаллической решётки. Область возможных применений алмазных плёнок в научных исследованиях и современных технологиях необычайно широка. Это интегральные схемы, включающие в себя элементы на основе алмаза, которые могут привести к революционным изменениям в области миниатюризации современных компьютеров, а также к развитию силовой электроники. На основе алмазных плёнок, кроме того, могут [c.281]

При охлаждении расплавленного кремнезема получается прозрачное (и для ультрафиолетовых лучей) кварцевое стекло. Если в кристаллах SIO2 кремнекислородные тетраэдры образуют правильную решетку, то в кварцевом стекле эти тетраэдры расположены неупорядоченно, с сохранением ближнего порядка в микрообъемах поперечником 10—100 А. Пленки, получающиеся при окислении кремния, также представляют собой кварцевое стекло. Эти плёнки SIO2 служат главным маскирующим и изолирующим средством при создании твердых интегральных схем. В исключительно перспективных МОП-струк-турах пленки SiOa выполняют роль и активных элементов твердой схемы. [c.109]

Справочник химика 21

Химия и химическая технология