Вспышки, испарение контроль состава

Во избежание потерь, связанных с отскоком или растрескиванием гранул, используется испаритель, приведенный на рис. 43. В этом испарителе над накаленной лентой помещаются танталовый цилиндр и отдельный металлический конус. При этом можно заменять ленту, не меняя конуса. Контроль температуры в этой конструкции облегчен тем, что испаритель снабжен термопарой, конец которой прижат пружинным контактом ко дну ленты. Такой испаритель при загрузке гранулами, содержащими 30 мол % SiO, позволяет получать пленки, состав которых отличается от исходного лишь на 1%. При больших концентрациях SiO степень отклонения состава пленки несколько увеличивается. Более того, если исключить потери вещества, связанные с отклонением, то скорость испарения при методе вспышки ограничена лишь подводимой к испарителю мощностью, т. е. скорость подачи вещества можно увеличивать до тех пор, пока [c.132]

Испарение методом вспышки (дискретное испарение). Метод вспышки используется для осаждения пленок, составлющие которых имеют разные давления паров. В отличие от метода двух испарителей здесь не требуется контроля плотности паров или температуры испарителей. Действенный контроль состава пленки достигается полным испарением малых количеств составляющих в заданном соотношении. При этом используется один испаритель, температура которого достаточно высока, чтобы происходило испарение наименее летучего вещества. Хотя фракционирование и происходит во время испарения каждой порции вещества, однако количество вещества в порции настолько мало, что неоднородность в пленке может наблюдаться лишь в пределах нескольких моноатомных слоев. Эти потенциальные неоднородности уменьшаются за счет того, что подача вещества в испаритель происходит непрерывно. В результате таких одновременных дискретных испарений поток пара имеет однородный состав, который совпадает с составом исходного вещества. Таким образом достигается очень точный контроль состава пленки. По данным Юнга и лерв-тейджа [254] пленки N1 — Ре— Сг, полученные методом вспыкши, имеют меньшие изменения в составе, чем пленки, полученные ионным распылением. [c.125]

Справочник химика 21

Химия и химическая технология