Фотошаблоны металлизированные

Металлизированные фотошаблоны. Когда оптические системы были разработаны для условий производства эмульсионных фотошаблонов и фоторезистов с высокой разрешающей способностью, естественно, стали задумываться о создании фотошаблонов, в которых рисунок был бы вытравлен в тонкой пленке металла. В опубликованных работах в значительной степени все сводилось к применению для этих целей хрома, хотя это и не единственный металл, который имеет хорошую адгезию и дает высокопрочные пленки. О первых разработках хромовых фотошаблонов сообщалось в работе Стелтэра [64]. О технологии производства сообщали [c.586]

Металлизированные хромом пластины, покрытые слоем фоторезиста, могут подвергаться экспонированию либо методом контактной печати вместе с фотошаблонами с эмульсионным слоем галоидов серебра, либо они применяются для создания изображений проекционным методом непосредственно на пластине [64. 66, 68]. В обоих случаях оптические системы, созданные для экспонирования фотошаблонов с эмульсионным слоем галоидов серебра, не могут использоваться без дополнительных изменений и приспособлений. потому что они спроектированы для работы в области длинных волн, за пределами чувствительности большинства фоторе нстов. Поскольку самым подходящим источником света являются ртутные лампы, необходимо создание оптических фильтров, пропускающих излучение на длине волны 4358 А или 4047 А. Объективы фотокамер должны быть откорректированы соответствующим образом. [c.587]

Если для экспонирования пластин со слоем хрома применяются шаблоны с галоидной эмульсией, то никакого выигрыша в увеличении разрешения получить не удается. Тем не менее, применяя соответствующее экспонирование на эмульсионном шаблоне, можно воспроизвести рисунок без изменения оптической плотности на краях линий. Пленку хрома или вытравливают полностью, или поддерживают ее первоначально заданную толщину в защищенных участках, благодаря чему хромовые фотошаблоны обеспечивают получение хорошей контрастности и четкой проработки края. Необходимо отметить, что это не всегда удается, потому что оптические дефекты в эмульсионном фотошаблоне могут повторяться в процессе печа тания. Многие дефекты эмульсионных фотошаблонов имеют или ничтожно малые размеры, или очень маленькую оптическую контрастность и поэтому не могут быть проявлены фоторезистом. Основное преимущество металли зированных хромом фотошаблонов — их высокая износостойкость. Свойствами, которые обеспечивают их долговечность, являются твердость, хо рошая адгезия и химическая инертность металлической пленки. Первое свойство уменьшает возможность образования царапин на рисунке, следующие два обеспечивают возможность удаления фоторезиста такими растворителями, которые будут растворять изображения в эмульсионном слое. Обычно продолжительность использования хромовых фотошаблонов оценивают от 100 до 500 контактных экспонирований, в зависимости от условий работы н искусства оператора. Пленки фоторезиста, которые защищают пленки хрома в процессе вытравливания, примерно в 10 раз тоньше слоя эмульсии галоида серебра и по своей природе они не зернистого строения. Поэтому хромовые фотошаблоны потенциально обладают большей разрешающей способностью, чем липпмановские пластины. Однако для того чтобы реализовать это преимущество, рисунок изображения необходимо создать непосредственно на металлизированной хромом пластине, покрытой слоем фоторезиста, оптическими методами, с применением аппаратуры, обеспечивающей требуемую разрешающую способность. Для этих целей успешно были применены обращенные микроскопические объективы, кото- [c.587]

Справочник химика 21

Химия и химическая технология