Распыление атом-ионное, методы

Искровая масс-спектрометрия с ионным микрозондом — метод, который также может быть использован для определения газов в твердых телах. Образец бомбардируется пучком ускоренных (5—15 кэВ) ионов аргона или другого инертного газа, и распыленные положительные ионы образца анализируются в масс-спектрометре. Сначала разрушается поверхность, а затем распыляется слой за слоем материал анализируемого образца. Таким образом, можно зарегистрировать поверхностные неоднородности и изменение концентрации по длине и глубине образца. В последнем случае образец и пучок ионов должны пе-ремеш,аться относительно друг друга. Первичный пучок ионов можно сфокусировать в пятно размером несколько сот микрометров. [c.395]