Давление вакуумного насоса Наибольшее выпускное большее

Прохождение через систему больших количеств газа при относительно высоком давлении является все же тяжелой нагрузкой для большинства насосов. Ионные вакуумные насосы, например, не подходят для систем ионного распыления, за исключением систем низкого давления. В установках для ионного распыления наиболее широко используются диффузионные насосы, которые можно считать вполне пригодными, если в них отсутствует значительный обратный поток паров диффузионного масла. Двумя основными критериями, определяющи.ми скорость обратного потока паров в диффузионном насосе при данных давлении и скорости откачки, являются наибольшее выпускное давление и пропускная способность (более подробно [c.425]