Покрытия нанесение из плазмы и газовой фазы

НАНЕСЕНИЕ ПОКРЫТИЙ ИЗ ПЛАЗМЫ И ГАЗОВОЙ ФАЗЫ [c.219]

Рассмотрены методы вакуумного нанесения тонких пленок с помощью процессов, происходящих в низкотемпературной газоразрядной плазме осаждение распылением ионной бомбардировкой, активируемое плазмой охлаждение из газовой фазы при пониженном давлении, ионное покрытие, автоэмиссионный метод, кластерный метод, осаждение с помощью сильноточных плазменных устройств. [c.279]

Области применения плазнотронов весьма широки. Это — химическая промышленность, где высокая температура плазмы позволяет проводить реакции в газовой фазе с большой скоростью и полнотой металлургия — плавление и переплав металлов, сварка и резка металлов, особенно цветных и тугоплавких скоростное бурение горных пород напыление — плазменное нанесение антикоррозионных, жаростойких и износостойких покрытий стен-дьл для испытаний материалов на ударные тепловые нагрузки, получение особо чистых порошков и выращивание монокристаллов. [c.243]