Масштабирование систем горизонтальное

Так, при замене вертикального расположения реактора для роста эпитаксиальных слоев кремния методами газотранспортных реакций на горизонтальное, равно как и при изменении размеров такого реактора, меняются (и весьма значительно) все технологические параметры процесса. Это связано с характером движения газовых потоков в системе. Аналогичная картина наблюдается и при замене, например, резистивного нагрева кассет с подложками на разогрев их токами высокой частоты. Ответить на возникающие при этом вопросы можно только с помощью специальных экспериментов, которые необходимо проводить на каждом этапе масштабирования и при каждом, даже кажущемся очевидным и разумным изменении конструкции технологического оборудования. [c.45]

Наиболее высокой по уровню в ряду систем, основанных на персональных компьютерах, стоит система обработки данных фирм Nelson Analyti al (США) модели 3000. Основанная на применении персонального компьютера фирмы 1ВМ (США) модель 3000 является наиболее прогрессивным на сегодняшний день устройством для обработки данных. По сравнению с системой фирмы Apple она более сложная и- дорогая. Система обладает дополнительной возможностью цветного графического отображения информации на дисплее высокого разрешения. С помощью системы модели 3000 оператор может получить дан 1ые от 6 хроматографов, каждый из которых оснащен двумя детекторами и автоматическим дозатором, и одновременно выполнять автономные программы, не связанные с процессами хроматографического разделения. Во время выполнения программы интерфейс сохраняет необработанные данные в буферной памяти, до окончания анализа. Затем данные со всех каналов передаются в память компьютера, предварительно обрабатываются, выдаются в табличной форме и сохраняются на дисках для последующего использования. Хроматографическое программное обеспечение в системе модели 3000 осуществляет также выдачу нестандартного отчета и создание методики. Система может провести повторный анализ с использованием других параметров. При новых параметрах эксперимента можно получить повторную хроматограмму, с помощью имеющегося программного обеспечения сравнить хроматограммы путем их наложения, провести расчет соотношения параметров и различий в хроматограммах. Для облегчения визуализации на одном дисплее можно обработать до 8 хроматограмм с вертикальным и (или) горизонтальным масштабированием. Несмотря на, то что система модели 3000 несколько дороже других, она [c.389]

Справочник химика 21

Химия и химическая технология