Условия получения равномерного отложения металла

Условия получения равномерного отложения металла [c.89]

Оба вида поляризации могут быть существенно ослаблены перемешиванием приэлектродного слоя путем продувания.очищенного сл атого воздуха (барботирование) и при качании катодной штанги. В последнем случае особенно улучшаются условия осаждения металла внутри мелких отверстий печатных плат, так как устраняется неоднородность, вызванная ограниченной рассеивающей способностью электролита. При качании катодной штанги с амплитудой 100 мм и с периодом 5 с осуществляется прокачивание электролита сквозь отверстия, что обеспечивает равномерность отложения (разнотолщинность пленки не превышает 20%). Кроме того, происходит интенсивное перемешивание, что устраняет застойные явления у электродов, смывает газовые пузырьки и непрочно осевшие рыхлые образования в дефектных местах. Последнее является важным условием получения мелкокристаллических и плотных пленок (наряду с выбором соответствующего состава ванны, плотности тока, температуры, учетом влияния кристаллической решетки подложки, ограничением осаждения органических примесей и т. д.). [c.101]

Справочник химика 21

Химия и химическая технология