Технологическая и аппаратурная схемы плазменносорбционной конверсии фторсиликата натрия на кремний и фторид водорода

Технологическая и аппаратурная схемы плазменносорбционной конверсии фторсиликата натрия на кремний и фторид водорода. Технологическая и аппаратурная схемы процесса показаны на рисунках 8.29 и 8.30 соответственно. Первую стадию — разложение Naз8iFe — производят в стандартном оборудовании (во вращающейся трубчатой печи с ретортой из сплава па основе никеля) при температуре 650 °С. Выделяющийся при разложении Naз8iF6 тетрафторид кремния поступает в компрессор, откуда его инжектируют в плазменный реактор, куда поступает водородная плазма. В зависимости от требований к промежуточному кремниевому продукту (моносилану и затем — к кремнию) водородную плазму генерируют в электродуговом, в высокочастотном или в микроволновом плазмотронах. Экспериментально опробованы два из них электродуговой и микроволновый генераторы водородной [c.448]

Справочник химика 21

Химия и химическая технология