Получение, очистка, контроль чистоты полупроводников

Химически чистое состояние близко к тому пределу чистоты, до которого можно довести вещество в условиях обычного заводского производства. При необходимости дальнейшей очистки (например, для получения полупроводников), используют специальные методики. Для контроля чистоты в этих случаях следует применять какой-либо особенно чувствительный метод (например, спектральный анализ). [c.51]

Запросы ряда отраслей новой техники (полупроводники, атомная энергетика и др.) потребовали получения некоторых элементов и соединений в гораздо более свободном от примесей состоянии, чем то достигалось ранее. Такая глубокая очистка часто требует разработки не только особых приемов и условий ее проведения, но и особых методов контроля чистоты. Последняя часто суммарно характеризуется числом девяток процентного содержания очищаемого вещества. Если ранее три девятки (99,9%) во многих случаях считались уже хорошим показателем чистоты, то в настоящее время отдельные вещества могут быть доведены до чистоты в десять девяток (т. е. 99,99999999%), и даже более. [c.63]

В книге изложены основы химии полупроводников, включая представления о зонах валентной, проводимости, природе химической связи, нарушении стехиометрического состава и фазовых свойствах полупроводников, а также физико-химический анализ полупроводниковых систем. Описаны методы получения поли- и монокристаллов полупроводниковых материалов, их химические, физико-химические, зласгрические и оптические свойства. Наряду с элементарными по гу-проводш1ками (германием, кремнием и др.) подробно исследуются многочисленные бинарные полупроводниковые соединения, а такж некристаллические полупроводники (стеклообразные и жидкие). 05-суждены современные методы очистки и контроля чистоты полупроводниковых материалов, а также рассмотрены- процессы травления полупроводников. [c.2]

Справочник химика 21

Химия и химическая технология