Анализ полупроводниковых сплавов

При анализе полупроводникового сплава, содержащего индий, кадмий, олово и сурьму, навеску [c.184]

Используя методику нанесения мельчайших частиц на реплики, удалось идентифицировать карбидные частицы с размером менее 0,1 мк [44]. Такое же разрешение получено при исследовании А1 — 5п сплава при ускоряющем напряжении 6 кв [45]. В связи с развитием промышленности полупроводниковых материалов и приборов для микроэлектроники кажется весьма важным применение микроанализаторов для анализа полупроводниковых сплавов [46] и тонких пленок [42]. При этом можно определить не только состав пленок, но и их толщину, составляющую от 0,005 до 0,5 мк. Не менее ценные результаты могут быть получены и при исследовании коррозионных пленок. [c.69]

ПОЛЯРОГРАФИЧЕСКИЙ МЕТОД АНАЛИЗА ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ СПЛАВОВ СИСТЕМЫ In—Sb —Те [c.121]

Анализ полупроводниковых сплавов (1п - 5Ь) [c.167]

Марганец — один из первых редких металлов, применяемых в промышленности, например, для производства стали. Поэтому интерес к аналитической химии марганца возник очень давно. Однако наибольшие успехи в разработке новых методов анализа для определения марганца в различных природных и промышленных материалах достигнуты за последние два десятилетия. В на-стояш,ее время марганец определяют при анализе сталей, сплавов, полупроводниковых материалов, особо чистых веществ, органических веществ, почв, биологических материалов, горных пород различного происхождения, минералов, руд и, наконец, космического вещества в виде метеоритов и лунных пород. [c.5]

АНАЛИЗ МЕТАЛЛОВ, СПЛАВОВ, ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ И ДРУГИХ (МАТЕРИАЛОВ [c.123]

Результаты анализов полупроводниковых соединений и сплавов химическим и полярографическим методами [c.122]

В настоящей работе приводятся некоторые результаты по экстракции сурьмы, мышьяка, индия и галлия диизоамиловым эфиром (ДАЭ) из солянокислой среды. Перечисленные элементы, наряду с сурьмой, являются компонентами полупроводниковых сплавов, методы анализа которых, а также методы регенерации из них дорогостоящих металлов, зачастую отсутствуют. Мышьяк, кроме того, часто сопутствует сурьме в рудах и продуктах их переработки. Поэтому разработка новых несложных методов разделения этих элементов представляется весьма целесообразной. [c.166]

Области применения. Благодаря простоте, универсальности и скорости выполнения анализ по светопоглощению широко применяется на практике, в особенности для определения примесей (примерно от 10 до 110 %). В качестве примера можно сослаться на применение этого метода при анализе сталей, сплавов цветных и черных металлов, люминофоров, полупроводниковых материалов, различных растворов, вод и т. д. [c.53]

Методы прямой кулонометрии с контролируемым потенциалом рабочего электрода (ППК) и контролируемым током электролиза (ПГК) широко применяют для анализа полупроводниковых соединений, жаропрочных сплавов, различных конструкционных, природных и промышленных материалов (см. Приложение 1 и 2). [c.58]

Данный метод был опробован нами на искусственных смесях индия и сурьмы, имитирующих бинарные полупроводниковые сплавы этого состава. Для проведения анализа [c.295]

Нестабильность ионного тока устраняется двумя путями использованием фотографических пластин [41—43] или применением регистрирующей системы, в которой фиксируются отношения разрешенного и неразрешенного ионных пучков вместо величины одного разрешенного пучка. В искровом источнике анализируемый образец полностью распадается и наблюдаемый масс-спектр представляет собой сумму масс-спектров индивидуальных элементов, из которых состояло твердое вещество. Метод вакуумной искры не может дать информации для идентификации сложных соединений он применяется главным образом для анализа металлов, сплавов, полупроводниковых материалов и т. п. [c.121]

Si при анализе легких сплавов пробу нагревают в потоке хлора при 750 °С [5.1771]. Хлорирование применяют для отделения сурьмы и олова при анализе баббита 15.1772], медь, свинец, цинк остаются в виде нелетучих хлоридов. Хлорированием можно выделить олово из сплавов Zr—Sn [5.1773]. Этот метод используется при определении теллура в полупроводниковых материалах [5.1774]. [c.258]

В связи с развитием современной науки и техники перед аналитической химией все с большей остротой ставятся задачи определения следов элементов. Микро- и ультрамикроколичества веществ необходимо определять как при анализе материалов высокой чистоты, где требуется количественно идентифицировать примеси с чувствительностью 10 —10 % на фоне основного компонента, так и при исследовании микрообъектов (например, пленочных полупроводниковых сплавов, изделий радиоэлектронной промышленности, микровключений и др.), когда общая масса сложного по составу исследуемого образца может составлять единицы и доли микрограмма. [c.5]

При анализе компонентов полупроводниковых сплавов в работе [23] определяют золото после отделения других элементов методом инверсионной осциллографической полярографии. [c.108]

Ядерные излучения нашли своеобразную область применения в форме метода радиоактивационного анализа. В ряде областей новой техники требования к чистоте материалов намного превосходят все пределы прежних требований в этом отношении. Допустимые содержания некоторых примесей оказываются лежащими в пределах 10" —10 % и даже ниже. Таковы требования к важнейшим полупроводниковым материалам ( 55) и жаропрочным сплавам, к материалам, применяемым при сооружении ядерных реакторов. В последнем случае необходим тщательный контроль [c.557]

Существенное значение имеют достижения аналитической химии в развитии отраслей промышленности и народного хозяйства, связанных с новой техникой — применением атомной энергии, развитием ракетостроения и промышленности жаропрочных сплавов, электроникой и промышленностью полупроводниковых материалов. Аналитическая химия не только обеспечила эти области эффективными методами анализа, но и послужила основой разработки многих новых технологических процессов. [c.8]

По замечанию Курнакова, физико-химический анализ вырос из запросов практической металлографии . Его роль как теоретической основы производства новых жароупорных, коррозионноустойчивых и других специальных сталей, авиационных, магнитных, полупроводниковых и других сплавов особенно велика. Большое значение физикохимический анализ имеет для галургии, занимающейся исследованием равновесий в водно-солевых системах, и для технологии силикатных материалов. [c.167]

Для исследования неорганических объектов — металлов, сплавов, руд, минералов, растворов солей и т. п. применяют эмиссионный спектральный анализ в ультрафиолетовой и видимой частях спектра. Его с успехом используют также для определения ничтожных посторонних примесей во многих материалах, которые должны удовлетворять условию особо высокой и сверхвысокой чистоты, как, например, полупроводниковые материалы. [c.181]

В настоящее время часто так и поступают открыв с помощью физико-химического анализа новое вещество и условия его существования, это вещество выделяют для детального исследования некоторых его свойств. Таким путем найдены, например, многие металлические сплавы с определенными свойствами, полупроводниковые, керамические и многие другие материалы. Но не только новые соединения представляют интерес. Механические смеси, растворы — жидкие и твердые — имеют самостоятельное значение в химии и технике, и сведения, которые о них дают диа- [c.264]

Следы — микро- и ультрамикроколичества примесей (порядка миллионных и миллиардных долей грамма) в веществах. Современная техника (ядерное горючее для атомных реакторов, специальные конструкционные материалы, жаропрочные сплавы, фармацевтические препараты, полупроводники и др.) предъявляет к чистым веществам и элементам высокие требования. Так, на каждые 10 миллиардов атомов полупроводникового германия допускается не более одного атома примеси, а полупроводниковый кремний должен быть еще чище. Получение чистых и сверхчистых веществ возможно лишь при хорошо налаженном анализе следов примесей. Сложные удобрения — удобрения, содержащие несколько питательных элементов. К С. у. относятся аммофос. Диаммофос, фосфаты калия, магний-аммонийфосфат, селитра калийная, нитрофосфаты, нитрофоски и т. д. [c.122]

Физико-химические методы анализа обладают очень высокой чувствительностью, большой избирательностью и точностью результатов анализа. Особое значение эти методы приобретают в атомной энергетике, полупроводниковой технике, радиоэлектронике, производстве специальных сплавов и в получении особо чистых веществ. Эти методы в сочетании с ЭВМ дают возможность автоматического контроля технологического процесса производства. Физико-химические методы позволяют производить концентрирование определяемых веществ из большого объема (газов или жидкостей) и проводить их определение. [c.213]

В ряде случаев анализ можно выполнять без разрушения образца. Метод находит широкое применение для анализа особо чистых веществ, используемых в полупроводниковой технике, а также металлов и сплавов. [c.45]

Фазовый (вещественный) анализ занимается формами, в которых интересующие нас компоненты находятся в исследуемом гетерогенном образце. Объектом фазового анализа всегда является твердое тело, наиболее часто - это руды, сплавы, полупроводниковые материалы и т. п. [c.441]

Известны методы определения серебра в почвах, растениях, природных и сточных водах, в рудах, минералах, силикатах и горных породах, в чистых металлах и неметаллах, в сплавах, полупроводниковых материалах, в гальванических ваннах, в реактивах и фармацевтических препаратах, в фотографических материалах, в смазочных маслах и других объектах. За небольшими исключениями, особенность этих материалов состоит в том, что содержание серебра в них обычно невелико, поэтому главное значение имеют методы определения микроколичеств серебра. Из физических методов наибольшее распространение имеет спектральный анализ. В последние годы публикуется много работ в области радиоактивационного определения серебра и атомноабсорбционных методов. В химических методах чаш,е всего применяется экстракционно-фотометрическое определение серебра в виде дитизоната, реже используется и-диметиламинобензилиденроданин и некоторые другие органические реагенты. [c.172]

СНд-ПАР [276], ПАН-2 [8, 87, 91, 596, 626], комплексонат меди с ПАН-2 [625], МАР [2]. При определении 3,4—6,8 м.г галлия 50-кратные количества индия, висмута и кадмия предложено маскировать N-метилглициндитиокарбаминатом [57]. При анализе полупроводниковых сплавов и смесей для холодной пайки [127] золото и медь восстанавливают тиосульфатом, сурьму(П1) маскируют винной кислотой, алюминий — борофторидом. В глицериновых ваннах, содержащих галлий и индий, галлий экстрагируют диэтиловым эфиром из среды 6 М НС1, затем реэкстрагируют и определяют комплексонометрически [596]. Селективность определения резко увеличивается после отделения галлия осаждением диантипирил-пропилметаном в кислой среде [91] или экстракции комплекса хлороформом с последующей реэкстракцией галлия [8]. В последнем случае определению 9,3 м.г галлия не мешают (в мг) А1 — 131 Th — 127 Mg — 118 Со — 105 d — 100 Pb — 60 Мп — 37 и Ni — 36 мешают Bi, In и Tl [8]. [c.170]

В работе [33] показана возможность определения больших концентраций элементов при анализе полупроводниковых сплавов Си1п5е2 (18,89 34, 14 46,97) и AgGaTe2 (16,12 24,94 58,94) атомно-абсорбционным методом с применением водородной лампы и фотографической регистрации спектров поглощения (при помощи КС-55 с кварцевой оптикой) для одновременного определения основных компонентов сплавов. Коэффициент вариации при определении Оа—3,3% Ag, 1п и Си—1,3—2,6%. Аналитические линии на спектрограмме фотометрнровали по отношению к сплошному спектру водородной лампы. [c.250]

Применение радиочастотного полярографа для анализа полупроводниковых сплавов, содержао их индий и кадмии.— Заводская лаборатория , 1968, т. 34, Ко 10, стр. 1176. [c.156]

А. А. Баркова Методы анализа продуктов предприятий свинцовоцинковой промышленности (1969) Н. Ф. Будяк, Е. Ю. Зельцер, Е. И. Шестаков Анализ магниевых сплавов (1971) 3. С. Мухина, Е. И. Никитина, Л. Я. Поляк, А. А. Тихонова Методы анализа жаропрочных сплавов и сплавов на основе тугоплавких металлов. Практическое руководство (1972) Н. Ф. Будяк, Т. А. Екп-менкова Анализ контактных и полупроводниковых сплавов (1975) Методы анализа металлического и четыреххлористого титана (Методическое руководство) (1973) монографии из серии Аналитическая химия элементов . [c.153]

Описанную аппаратуру используют для анализа химических реактивов и особо чистых химических веществ (определение меди, магния, кальция, натрия и др.), определения неорганических микропримесей в органических растворителях высокой чистоты (цинк, кадмий, висмут в ацетоне, медь в спиртах), а также для анализа материалов квантовой электроники (определение основных компонентов полупроводниковых сплавов). [c.182]

Особые перспективы представляет применение атомно-абсорбционной спектрофотометрии к анализу химических реактивов и препаратов. Для этого круга объектов характерно исключительное многообразие их химического состава и. по-видимому, только атомно-абсорбционный анализ в состоянии улучшить аналитическое обслуживание этой области промышленности . Огромное поле для приложения атомно-абсорбционного анализа лежит в области материалов для квантовой электроники. Число этих материалов велико уже в настоящее время и в ближайшие годы, по всем данным, сильно возрастет. Применение атомно-абсорбционного анализа к этим объектам должно дать эффективные результаты как в отношении определения с высокой точностью и надежностью макроком-понентного состава полупроводниковых сплавов (например, антимонидов и арсенидов элементов третьей группы), так и для определения малых содержаний редких и рассеянных элементов в исходных материалах. [c.184]

При анализе полупроводникового германия 20 примесных элементов определяют на одной спектрограмме, предварительно отогнав германий в виде СеСЦ. А в графите для ядерных реакторов определяют 30—40 элементов после полного озоления его. Предварительно озоляют также бумажные полоски, на которых выделены хроматографическим способом индивидуальные примеси нз смеси элементов — ниобия из растворенного сплава, кобальта из никеля и т. п. Именно обогащение проб помогло спектральному анализу сохранить свои позиции в ряду ведущих методов анализа высокочистых материалов. [c.210]

При анализе малых образцов трехкомпонентного полупроводникового сплава на основе свинца с добавкой индия (3—5%) и никеля (—3%) электрохимические ультрамикрометоды использованы не только в целях определения, но и для разделения компонентов сплава [22]. Основной компонент — свинец — из раствора образца [объем 2 мкл HNOз (1 4)] выделяли электролизом на платиновом аноде в капиллярном сосуде с пористой перегородкой (см. рис. 7). 6—7 мкг свинца выделяются из раствора при 1 3ма1см в течение 30 мин. Остающиеся в растворе 0,2—0,4 мкг индия и —0,2 мкг никеля затем разделяли, осаждая гидроокись индия аммиаком. Никель определяли в аликвотных частях аммиачного центрифугата кулонометрическим титрованием в виде комплекса с генерируемым этилендиаминтетраацетат-ионом. Индикацию точки эквивалентности проводили методом дифференциального потенциометрического титрования [23]. Индий (после растворения осадка гидроокиси) также титровали кулонометрически генерированным ферроцианидом, как описано выше. [c.268]

РАДИОАКТИВАЦИОННЫЙ АНАЛИЗ — метод анализа вещества с помощью различных ядерных реакций. При Р. а. исследуемое вещество облучают ядерными частицами или у-лучами. В результате бомбардировки образуются изотопы, количественно определяемые но их активности. Р. а., обладающий высокой чувствительностью, применяют для определения примесей в металлах и сплавах, полупроводниковых материалах, содержания микроэлементов в крови, ачазме, тканях животных и растений, применяется также в геологических работах и поисках, в судебной экспертизе и др. [c.208]

Для соврем. Ф.-х. а. характерно широкое применение термодинамич. методов (феноменологических и статистических), математич. моделирование фазовых диаграмм сложных систем с применением ЭВМ, развитие исследовании ири экстремальных значениях т-ры и давлепия, расширение числа компонентов изучаемых систем. Ф.-х. а.— осн. метод исследования металлич. сплавов, р-ров и расплавов солей, орг. в-в, минералов, полупроводниковых материалов, соединений РЗЭ и т. п. он является теор. основой технологии многих из этих в-в. Метод успешно использ. также для решения задач синтеза соединений для новой техники. фАносов В. Я,, Озерова М, И,, Ф и а л к о в Ю. Я., Основы физико-химического анализа. М., 1976. [c.620]

М.-с. позволяет определять все элементы периодич. системы с чувствительностью 10 г при использовании лазерных источников ионизации м.б. достигнута чувствительность 10 г. При анализе твердых проб м.б. определены примеси, содержание к-рых в 10 ниже содержания осн. элементов. М.-с. широко применяется в анализе особо чистых металлов (Ga, Al, In, Fe, u и др.), полупроводниковых материалов (Si, GaAs, dFe), сплавов на основе Ре, Ni и Zr при произ-ве тонких пленок и порошкообразных в-в, напр, оксидов и и редкоземельных элементов. М.-с. позволяет определять содержание С, N, О, S, Р в сталях, анализировать керамику, стекла, разл. изоляц. материалы, проводить локальный и послойный анализ пробы (локальность по пов-сти до 1 мкм, по глубине до 1 мм), получать сведения о структуре и фазовом составе твердых тел. Для определения элементов используют масс-спектрометры с ионизацией образцов в электрич. дуге, искровом и тлеющем разряде или в индуктивно-связанной аргонной плазме при атм. давлении. [c.663]

Эмиссионный спектральный анализ в настоящее время является одним из наиболее широко используемых методов определения малых содержаний Sb в металлах и их сплавах, горных породах, рудах, веществах высокой чистоты, полупроводниковых и многих других материалах I227, 287, 314, 369, 380, 398, 442, 635, 637, 681—683, 807]. Теоретические основы эмиссионного спект-зального анализа изложены в ряде руководств и монографий 209, 226, 349, 709, 936]. Основными преимуществами эмиссионного спектрального анализа являются универсальность, высокая чувствительность и вполне удовлетворительная точность. Большая производительность и экономичность делают его незаменимым при массовых анализах однотипных проб, особенно с использованием современных приборов с фотоэлектрической регистрацией спектров [501, 710]. К числу достоинств спектрального метода следует также отнести в большинстве случаев малое количество вещества, необходимое для проведения анализа, составляющее иногда сотые доли грамма. [c.77]

Стандартное отклонение составляет 21 % при содержании 0,01 мкг Сг и 4,7% при содержании —1 мкг Сг. Метод применяют при анализе кремния и алюминия. Субстехиометрпческая экстракция хромата тетрафениларсония использована для определения хрома в алюминии и его сплавах [589], хлориде титана особой чистоты [433], в четыреххлористом кремнии и Si-полупроводниковых пленках [243]. Анализ А1 и его сплавов проводят по методике [589]. [c.105]

Рассмотренный метод позволяет определять содержание отдельных элементов в твердых веществах — минералах, сплавах, солях, полупроводниковых материалах, почвах, растениях, прод)гктах питания в жидких средах, а также при анализе состава благородных газов [80] (например, примесей металлов в нефти, морской воде и грунтовых водах). В табл. 7.16 приведены пределы обнаружения ряда элементов при исследовании плазмы крови методом изотопного разбавления [98]. [c.884]

Справочник химика 21

Химия и химическая технология