Проблемы, связанные с ионным распылением поверхности

ПРОБЛЕМЫ. СВЯЗАННЫЕ С ИОННЫМ РАСПЫЛЕНИЕМ ПОВЕРХНОСТИ [c.382]

Завершающий этап экспериментов на установке связан со сбором нагретых ионов по всему сечению плазменного потока, эквивалентный ток ионов в котором около 5А. К настоящему времени опробованы отборные конструкции двух видов [48, 32]. Вероятно, конструкция [32] более эффективна в результате её применения в отдельных экспериментах проводился отбор с коэффициентом извлечения изотопа около 0,3. Но пока были лишь более рационально выбраны размеры и форма собирающих поверхностей и экранов. Не предусматривалось улавливание ионов, отражённых от поверхности коллектора. Не учитывалась возможность распыления осадка нагретыми ионами и т. д. Величина коэффициента извлечения 7 определяется, конечно, не только конструкцией отборника. Серьёзную физическую проблему представляет нагрев в потоке большей части ионов выделяемого изотопа. Эксперименты продолжаются. Некоторые задачи, по-видимому, будут решены, но для решения проблемы отбора в целом требуются эксперименты как в более сильных магнитных полях, так и с плазменными потоками большего сечения, чем в данной установке. [c.324]

При наклонном падении ионов наблюдается существенное увеличение коэффициента распыления для многих материалов. Это обстоятельство может, по крайней мере частично, компенсировать малые плотности ион ного тока, которые имеют место при распылении ионными пучками. Особый интерес должно представлять исследование более высоких энергий испускания атомов, распыляе.мых в прямом направлении при облучении мишени под малыми углами к ее поверхности. В этом случае могут воз никнуть проблемы, связанные с загрязнение.м пленок атомами, распыляс мыми с ускоряющих электродов (возможно, в результате перезарядю ионов и образования нейтральных атомов). [c.371]

Справочник химика 21

Химия и химическая технология