Закрытые шлюзовые системы

Закрытые шлюзовые системы [c.4]

В наиболее простом варианте закрытая, шлюзовая система представляет вакуумную шлюзовую камеру с двумя затворами, одним из которых она герметично отделена от рабочей (вакуумной) камеры, а другим от атмосферы (обычно это загрузочное окно с крышкой). Внутри шлюзовой камеры имеется устройство для передачи изделия в рабочую камеру, [c.4]

К закрытым шлюзовым системам относятся также устройства, в которых вакуумные камеры с различным давлением герметично разделены жидкостью, образующей жидкостный затвор 6 (рис. 1, г). [c.5]

Рис. 1. Закрытые шлюзовые системы

Закрытые шлюзовые системы отличаются простотой конструкции и надежностью в эксплуатации, благодаря этим качествам они нашли наибольшее применение в промышленном и лабораторном вакуумном оборудовании. [c.8]

В установках периодического действия, наибольшее распространение получили закрытые шлюзовые системы, которые обычно выполняют в виде одной шлюзовой камеры, отделяемой от рабочей герметичным затвором. [c.16]

На рис. 6 показана установка периодического действия с закрытой шлюзовой системой, отличающаяся от [c.17]

Рис. 6. Установка периодического действия с закрытой шлюзовой системой во время загрузки и выгрузки изделий (а) и нанесения покрытия (б)

Рис. 7. Установка периодического действия с закрытой шлюзовой системой

Так, в установке, приведенной на )ис. 13, над рабочей камерой находится закрытая шлюзовая система, состоящая из двух шлюзовых камер 1 я 2 с магазинами держателей изделий. Держатель изделий подается на,карусель 3 рабочей камеры, под которой расположен источник 4 нанесения покрытия. [c.25]

Рис. 13. Установка полунепрерывного действия круговой компоновки с закрытой шлюзовой системой

Повышению производительности установок полунепрерывного действия способствует дифференцирование холостых, вспомогательных и основных рабочих операций, а также использование нескольких шлюзовых загрузочно-выгрузочных камер и разделение процессов загрузки-выгрузки изделий на отдельные шлюзовые камеры, В таких установках наибольшее применение нашли закрытые шлюзовые системы. , < [c.27]

Из рассмотренных выше вакуумных установок со шлюзовыми системами видно, как разнообразно их конструктивное решение Надежность работы вакуумного оборудования в большой степени определяется надежностью работы шлюзовой системы. Поэтому в большинстве случаев используют закрытые шлюзовые системы [c.36]

После взаимной разгерметизации камер в закрытых шлюзовых системах проводимость 11(1-1)1 обычно, большая, разница давлений Р, и Р, 1 невелика и перемещение держателя изделий почти не влияет на изменение давлений. [c.48]

В закрытых шлюзовых системах затвор должен от-, вечать следующим эксплуатационным требованиям [c.5]

При перемещении подвижной плиты вверх герметизируется внутренняя полость цилиндра 9 относительно рабочей кэмеры и в нее напускается воздух для загрузки-выгрузки изделий. В такой. установке. применена закрытая шлюзовая система, в которой каждый из четырех цилиндров транспортирующего устройства поочередно выполняет роль части шлюзовой камеры. Загрузку-выгрузку, нагрев, нанесение покрытия и охлаждение изделий производят соответственно в четырех позициях рабочей камеры 7. Цикл нанесения покрытия в установке прерывается во время, й( ворота цилиндров И одной позиции в другую. [c.23]

В закрытой шлюзовой системе (рис. 16) имеются шлюзовые камеры загрузки 2 и выгрузки 5. Первый магазин 3 с держателями изделий загружают сначала в шлюзовую камеру загруз-, ки 2. После откачки этой камеры м-агазин перемещают в рабочую камеру 1, последовательно перегружая держатели изделий 8 к источнику 7 - нанесения покрытия Бозвратно-поступательн ы м механизмом 4. На карусели 6 одновременно можно обрабатывать несколько изделий. [c.27]

Рис. 16. Установка непрерывного действиячс закрытой шлюзовой системой

В закрытой шлюзовой системе со шлюзовой и рабочей камерами (рис. 25 а) давление в любой из камер определяется собственными газовым потоком Q и скоростью откачки 5, а также частично газовым потоком соседней Jiaмepы и ее скоростью откачки. Эта система характерна для установок с магазином изделий, расположенным в шлюзовой камере. Изделия периодически [c.44]

Справочник химика 21

Химия и химическая технология