Адама с масками рис

В процессе экспонирования серебро проникает в слой Ое—5е. С неэ сспонированных участков АдгЗе удаляют раствором О/КЬ" образующим растворимый комплекс КАдЬ. Стекло Ое—5е с этих участков удаляется раствором ЫаОН, содержащим ионы 8 . В органическом слое можно затем создавать окна с помощью ИХТ в кислородной плазме, при этом Ое—8е служит маской. При введении Ад в слой Ое—8е в процессе экспонирования повышается оптическая плотность пленки АдгЗе. При этом, как и в случае обычных органических резистов, постепенно увеличивается экспозиция экспонируемых областей. В результате образования градиента концентрации Ад на краях изображения Ад может при засветке из неэкспонированного слоя диффундировать в экспонированные области. Хотя это и может привести к снижению пропускания в результате повышения концентрации Ад, однако в результате улучшается четкость краев, что наблюдается у линий шириной не более 0,5 мкм. Непрозрачность слоя Ад28е/(Ое—8е) для УФ-света исключает влияние отраженного от рельефной подложки света и, наоборот, пропускание света длиной волны более 500 нм дает возможность легкого оптического контроля совмещения. [c.273]

Справочник химика 21

Химия и химическая технология