Маски для напыления стеклянные

Для создания тонкопленочных рисунков микросхем требуется применение приспособлений, определенной формы, обычно называемых масками. Они могут быть изготовлены из металлических, графитовых или стеклянны.х пластин, в которых вырезается илн вытравливается рисунок желаемой формы. Маска помещается в непосредственной близости от подложки, чем достигается осаждение испаряющегося вещества только на открытую поверхность подложки. Такое устройство для напыления приводится на рис. 1. Толщина пленки контролируется с помощью регулирующего устройства и заслонки. [c.560]

Если поворот гайки происходит в направлении, при котором вал опускается, пальцы сцепляются и маскодержатель поворачивается на /к часть окружности. При перемене направления вращения шестерни и гайки поводковые пальцы расцепляются, и при этом маскодержатель поднимается вверх до тех пор, пока маска не будет плотно прилегать к подложке. Окончательное, более точное совмещение маски с подложкой обеспечивается с помощью двух конических базирующих штифтов, которые входят в базовые отверстия на маскодер-жателе. Для измерения сопротивления пленки в процессе ее напыления рядом с подложкой имеется стеклянная пластинка, на края которой нанесены пленочные пизкоомные хромовые электроды. Один из электродов соединен с заземленной базовой плитой, а другой вы- [c.274]

Стеклянные маски. При напылении через маски часто применяются стеклянные подложки с линейными размерами от 25 до 250 мм. В этом случае различие коэффициентов расширения (у. металлов он более высокий), особенно при на1 евании подложки, ведет к образованию с.мещеиия напыляемого рисунка. По этой причине были сделаны попытки применить стеклянные маски. Возможности механической обработки стекла ограничиваются пескоструйной обработкой и ультразвуковой резкой. Кроме того химическое травление обеспечивает получение на стеклянных пластинах приемлемые разрешение и четкость краев линии. Практически для производства масок применшотся фоточувствительные стекла особого типа, изве- [c.563]

Вся конструкция маско- и подложкодержатели, предназначенная для использования прямоугольной стеклянной подложки, показана на рис. 5. Металлическая или стеклянная маска крепится в рамке. Подложка крепится с нижней стороны подложкодержателя и с помощью стопорной шпильки и нажимного штифта устанавливается над маской. Совмещение производится под микроскопом через рамку маскодержателя, а перемещение маски или подложки — с помощью боковых установочных винтов. Оба устройства для напыления (рис. 4 и 5), состоящие из маскодержателя с маской и подложкодержателя с подложкой, для улучшения условий осаждения пленок при повышенных температурах, подвергаются нагреванию от спирали, установленной над подложкодержателем. [c.565]

Справочник химика 21

Химия и химическая технология