Смазка элементов вакуумных систем в системах непрерывного действия и в сит

Специальные проблемы. Все типичные для напылительных систем непрерывного действия проблемы обусловлены наличием в них движущихся элементов, например, устройств для переноса подложек или для смены и совмещения масок с подложками. Трудности возникают в связи с тем. что трение в вакууме существенно выше, чем на воздухе. В результате в вакууме часто возникают различные механические неисправности типа заедания, плохого контакта маски с подложкой или невозможности их точного совмещения. Эти трудности усугубляются, если подложка подогревается, что почти всегда имеет место. Использование антифрикционной смазки из-за ее большой скорости газовыделения следует избегать, особенно если рассматриваемый элемент подвергается нагреву. В вакуумных системах для снижения трения используют дисульфид молибдена или пленка тефлона, но и нх способность выдерживать нагрев без значительного увеличения газовыделения ограничена. [c.309]

Справочник химика 21

Химия и химическая технология