Элементы вакуумных систем

ОСНОВНЫЕ ЭЛЕМЕНТЫ ВАКУУМНЫХ СИСТЕМ [c.69]

Широко используемым элементом вакуумных систем являются различные краны [37]. Стеклянные краны (конусные и плоские) могут быть одно-, двух-, трех- и четырехходовыми. Дпя регулирования или дросселирования давления в системе служат различ- [c.70]

Вес узлов печи и элементов вакуумных систем может достигать сотен и тысяч килограммов. Поэтому при компоновке печи и ее установке следует предусматривать соответствующее крановое оборудование. [c.215]

Целью данной работы является не дублирование таких книг, в которых освещаются вопросы получения, измерения и применения вакуума, а подробное рассмотрение уплотнений отдельных элементов вакуумных систем. [c.4]

Проницаемость элементов вакуумных систем — явление нежелательное, за исключением тех случаев, когда она используется для регулируемого напуска в вакуумную систему определенного газа (разд, 6, 1-4). [c.23]

Элементы вакуумных систем. Условные проходы. (Ред. 1— [c.53]

Типы, конструкция. Основные параметры и размеры 11 868.003—76 Соединительные элементы вакуумных систем. Элементы [c.80]

Прокладки из фторопласта, помимо вакуумноплотного соединения трубопроводов и других элементов вакуумных систем, могут использоваться в уплотнениях сальникового типа для передачи в вакуум поступательного и вращательного движения. При этом вакуумные системы с целью обезгаживания могут быть подвергнуты длительному прогреву (в течение нескольких часов) до температуры 200° С и кратковременному прогреву до 300—350° С. Однако следует иметь в виду, что по сравнению с вакуумной резиной фторопласт значительно менее эластичен. Он имеет сравнительно высокий коэффициент линейного расширения, значительно изменяющийся в различных диапазонах температур (от 8-10- до 250-10 ). Оригинальным свойством фторопласта является то, что, будучи деформирован при низкой температуре, он стремится восстановить при дальнейшем прогреве свою первоначальную форму. Вместе с тем он очень медленно восстанавливает первоначальные размеры после снятия нагрузки. [c.160]

Элементы вакуумных систем [c.233]

Для удобства описания приводим некоторые принятые изображения элементов вакуумных систем остальные изображения пояснений не требуют. [c.309]

Для уплотнения соединений отдельных элементов вакуумных систем в зависимости от характера уплотнения, условий его работы и требований, предъявляемых к нему, применяют вакуумную резину, фторопласт-4, свинец, алюминий, холоднокатаную мягкую медь [Л. 13]. [c.69]

О расчетах методом Монте-Карло. Со времени появления крионасосов постоянно совершенствуется расчет их с использованием метода статистических испытаний (метод Монте-Карло), который впервые был применен для расчета пропускной способности элементов вакуумных систем [3-16]. Схемы расчета составляются для определенных конкретных конструктивных схем и конфигураций защитных экранов и криопанелей. Суть метода заключается в последовательном моделировании (разыгрывании) случайных траекторий отдельных молекул, попадающих из откачиваемого объема во входное отверстие насоса. В расчетах с помощью быстродействующих ЭВМ прослеживается весь путь движения большого количества молекул от входного отверстия до столкновения их с криопанелью или при неблагоприятных обстоятельствах до вылета их из насоса через входной патрубок обратно в откачиваемый объем. [c.144]

Нестационарные процессы диффузии наблюдаются при обезгаживании материала либо, напротив, при поглощении им газа, что характерно для деталей электровакуумных приборов и нагреваемых элементов вакуумных систем. [c.71]

ЭЛЕМЕНТЫ ВАКУУМНЫХ СИСТЕМ [c.293]

Коммутационная аппаратура (краны, затворы, клапаны, золотники, натекатели) является одним из важ-, нейших элементов вакуумных систем. [c.325]

ДЛИТЕЛЬНОСТИ ОТКАЧКИ И ОТДЕЛЬНЫХ ЭЛЕМЕНТОВ ВАКУУМНЫХ СИСТЕМ [c.388]

Глава пятнадцатая. Элементы вакуумных систем. [c.430]

Примеры расчетов газовых потоков, длительности откачки и отдельных элементов вакуумных систем [c.431]

В справочнике-атласе приведены физико-механические характеристики материалов (металлов и неметаллов), применяемых для изготовления элементов вакуумных систем, а также кратко рассмотрены вопросы вакуумной сварки и пайки. [c.2]

Несмотря на быстрое развитие отечественной вакуумной техники и широкое внедрение ее в промышленность, до настоящего времени в литературе вопросы выбора материалов и элементов вакуумных систем освещены крайне недостаточно. [c.3]

В справочнике-атласе систематизированы основные элементы вакуумных систем и насосов, даны рекомендации по выбору материалов для их изготовления. [c.3]

При изготовлении элементов вакуумных систем к конструкционным материалам, работающим в условиях вакуума, предъявляются следующие основные требования [c.5]

Важное место среди материалов для элементов вакуумных систем занимаю неметаллические материалы (стекло, керамика, резина, фторопласт, замазки и т. д.) [c.19]

СВАРКА И ПАЙКА ЭЛЕМЕНТОВ ВАКУУМНЫХ СИСТЕМ [c.36]

ГЛАВА III ЭЛЕМЕНТЫ ВАКУУМНЫХ СИСТЕМ СИЛЬФОНЫ [c.42]

При включении ЭФН с расходуемым рабочим телом, прежде всего испарительных, вьщеляются сравнительно большие количества газов, в особенности водорода, растворенных в геттере. Поэтому для испарительных насосов, работающих в сверхвысоковакуумных системах, следует подбирать высокочистые геттеры. Чтобы предотвратить за-пыление геттерным веществом элементов вакуумных систем, откачиваемых испарительными и в меньшей степени разрядными насосами, необходимо их оптическое экранирование. [c.15]

При эксплуатации, ремонте и испытаниях вакуумного технологического оборудования обслуживающий персонал должен быть защищен от таких опасных и вредных производственных воздействий, как поражение электрическим током, движущимися и вращающимися частями оборудования, а также высоко-и низкотемпературных ожогов, аэрозолей, образующихся при чистке внутрикамерных устройств, шумов, вибраций и ВЧ-из-лучений. Источниками электрической опасности являются электрические сети питания оборудования, высоковольтные источники и пульты, электронагреватели для обезгаживания элементов вакуумных систем. [c.103]

Немаловажным элементом вакуумных систем являются ловушки - устройства, предназначенные для улавпивания различного рода газов и веществ, образующихся в вакуумной системе в процессе ее эксплуатации или откачки. [c.71]

Подробный перечень требований по производственной гигиене изложен в специальной инструкции МРТП (1956 г. ) здесь мы выскажем ряд соображений, имеющих непосредственное отношение к соблюдению вакуумной гигиены на операции откачки электровакуумных приборов, причем затронем все три элемента вакуумных систем откачиваемые приборы, трубопровод и насосы. [c.379]

Основным элементом вакуумных систем являются насосы, которые предназначены для создания требуемого вакуума в камерах установок, а также для поддержания рабочего давления при проведении технологического процесса. В установках для изготовления тонкопленочных структур ИМС применяются механические форвакуумные и двухроторные насосы, пароструйные диффузионные, а также криогенные и турбомолекуляр-ные насосы. [c.60]

Проюдимость элементов вакуумных систем (вентилей, затворов, участков трубопроводов) и систем в целом, коэффициентов захвата различных устройств (насосов, ловушек и др.), а также распределение молекул по поверхности вакуумной системы или отдельных ее участков можно рассчитать с помопц>ю угловых коэффициентов, используемых для определения теплообмена излучением. [c.40]

Справочник химика 21

Химия и химическая технология