Стеклянные подложки подвижность ионов

Краус и Дарби [50] исследовали влияние температуры на подвижность ионов натрия в натриевом стекле. Они установили, что энергия активации изменялась в интервале от 30 до 60 ккал/моль. Увеличение температуры от 25 до 300° С может увеличить подвижность ионов на семь порядков. Сопротивление из нитрида тантала, рассеивающее на стеклянной подложке мощность 6,5 Вт/см, может увеличить ее температуру до 200° С. Эта температура в сочетании с высокими электрическими полями (до 800— ШОО В/см для некоторых извилистых образцов) достаточна, чтобы вызвать значительную миграцию ионов. Подвижные ионы, движущиеся по поверхности подложки к противоположно заряженному электроду, могут вызвать вторичные реакции. Эрозия металлических пленок вблизи отрицательных концов сопротивлений наблюдалась на сопротивлениях как из нихрома [18], так и из нитрида тантала [20]. Орр и Массеса [51] изучали влияние миграции ионов на сопротивление из нитрида тантала, а Кокс [52] из окиси олова. Сноу и др. [53] исследовали движение щелочных ионов в защитных окисных пленках на кремнии. Они обнаружили экспоненциальную температурную зависимость с энергией актавации, равной [c.521]

Справочник химика 21

Химия и химическая технология