Цилиндрическая геометрия электродов при ионном распылении

До сих пор мы имели дело с электродами, равными по площади. Включение разделительного конденсатора в цепь высокой частоты такой симметричной системы никак не повлияет на ее работу. Следовательно, на один или оба электрода можно нанести диэлектрик, который под действием ионной бомбардировки будет распыляться. Несколько таких систем с симметричными электродами имеется в продаже. Увеличи.м теперь площадь одного из электродов. Если во внешней цепи постоянная состая-ляющая напряжения выделиться не может, то при подаче на электроды отрицательной полуволны напряжения, максимальные толщины ионных оболочек на этих электродах останутся равными, если только плотное плазмы у обоих электродов будут одинаковыми. Однако при положительной полуволне напряжения на меньшем электроде в этот электрод в.хо-дит большее количество электронов, чем в электрод большей площади в следующий полупериод. Разделительный конденсатор, включенный в ВЧ цепь, заряжается теперь несимметричным током, в результате чего электрод меньшей площади оказывается под большим отрицательным потенциалом, чем электрод большей площади. Вследствие этого толщина ионной оболочки и энергия бомбардирующих ионов у электрода большей площади оказываются меньшими. Взяв большое отношение площадей электродов, энергию ионов, бомбардирующих электрод большей площади, можно уменьшить до величины, меньшей порога распыления. Более подробно этот вопрос будет обсуждаться в гл. 4. Устройство и действие системы с цилиндрической геометрией (провод, про.чодящий по осл цилиндрического электрода большей площади) такие же, как и в первых газоразрядных выпрямителях. Как отмечалось ранее, конденсатор можно [c.367]

Справочник химика 21

Химия и химическая технология