Моноаммиакат хлорида алюминия

В дальнейшем мы отказались от использования гексааммиаката хлористого алюминия в качестве исходного компонента, так. как было затруднительно поддерживать постоянную скорость подачи аммиаката в зону реакции. Последующие опыты были проведены с моноаммиакатом хлорида алюминия. [c.93]

Нитрид алюминия, принадлежащий к полупроводниковым соединениям А В группы, обладает теми физико-химическими свойствами, которые обусловливают перспективы применения его в технологии полупроводникового приборостроения, в создании высокотемпературных защитных покрытий и, наконец, в ряде оптоэлектронных и пьезоэлектрических устройств. Известные методы получения нитрида алюминия, такие, как реактивное и высокочастотное распыление [1—4], разложение фосфида алюминия в аммиаке [5], парофазное разложение хлорида и моноаммиаката алюминия [6, 7], не позволяют получать достаточно чистый продукт с необходимыми физико-химическими характеристиками, Определенные преимущества имеет метод разложения триметил-алюминия (ТМА) в потоке газа-носителя, позволивший авторам [8] создать качественные эпрггаксиальные слои AIN на сапфире и шпинели. [c.82]