Приборы для измерения времени и установки выдержек

Разработкой последующих лет является усовершенствованный фотоповторитель фирмы Д. В. Манн . В этой установке фотопластина перемещается под объективами, которые представляют собой обращенный минро-скоп. На таких установках достигается очень высокая разрешающая способность. Отличительной особенностью таких установок является очень короткое время выдержки, около 5 мкс, достигающееся за счет использования импульсной ксеноновой лампы. Расстояние перемещения между отдельными интервалами настолько мало, что позволяет осуществлять непрерывные перемещения фотопластины. Заданная продолжительность выдержки обеспечивается или установлением необходимой скорости перемещения, или контролем перфорированной лентой. Точность перемещения по шагу составляет 1,25 мкм. Применение многолинзовых объективов позволяет обрабатывать одновременно несколько фотошаблонов на одной установке. Поскольку совмещение изображений в том случае, когда размеры приборов все время уменьшаются, стало особенно существенным, поэтому для преодоления этого затруднения были разработаны новые методы и аппаратура высоко чувствительного контроля перемещения координатного стола. К ним относятся оптический метод сканирующего луча и лазерные интерферометры [25]. В частности, последний метод позволяет производить очень точные измерения длины на очень больших расстояниях. Прн этом достигается точность отсчета в 0,25 мкм для интерферометрических систем с управлением от электронно-вычислительной машины [44]. На одном из таких фотоповторителей с применением лазера была достигнута точность отсчета менее 0,1 мкм [45]. [c.581]

Справочник химика 21

Химия и химическая технология