Технология монтажа многослойной изоляции

При многослойном монтаже в производстве больших ИС резистный микрорельеф, полученный с помощью фотолитографии, может выполнять функцию межслойной изоляции. Однако по условиям технологии одновременно с этим он должен быть термостойким—выдерживать температуру до 500 °С. Слои многих фоторезистов обладают электроизоляционными свойствами (а. с. СССР 398916, см. раздел IV. 2). Однако для получения термостойкого рельефа необходимо применять специальные полимеры. Среди них чаще всего используют полиамидокислоты — продукты конденсации ангидридов тетракарбоновых кислот ароматического ряда с ароматическими диаминами, известны и кремнийсодержащие полиамидокислоты [42]. Полиамидокислоты в растворах неустойчивы и склонны к гидролизу. Изучению их синтеза и свойств посвящено большое число работ. При нагревании они претерпевают внутримолекулярную циклизацию, приводящую к образованию имидных циклов в цепи полимера. Полиимиды отличаются высокой термостойкостью, отличными механическими, электроизоляционными, а также пленкообразующими свойствами. При реакции полиимидов с основными аминами (этилендиамин, гидразин) происходит рециклизация, сопровождающаяся разрывом полимерной цепи, вследствие чего резко повышается растворимость полимера. [c.190]

Технология монтажа многослойной изоляции [c.154]

Качество многослойной изоляции зависит от плотности укладки, применяемых материалов, технологии ее монтажа на теплоизолируемых поверхностях. При малом числе экранов возрастает теплообмен за счет конвекции, при очень плотной укладке увеличивается контактная теплопроводность. Оптимальным числом принято считать 25—40 слоев на 1 см, хотя разработана суперизоляция с плотностью укладки слоев в 2—3 раза больше. Плотность многослойной изоляции составляет 40—70 кг/м [c.51]

Приток тепла [101] в трубопроводе диаметром 79,5 мм для жидкого водорода, изолированном многослойной изоляцией толщиной 25 мм из алюминированной пленки и стекловолокнистого материала, составил 2,5 вт/м при давлении 1,3-10 м , что соответствует коэффициенту теплопроводности 0,18 мвт1 м град). По данным фирмы Линде [104] приток тепла через многослойную изоляцию трубопроводов равен 0,145 вт на погонный метр при отношении наружного и внутреннего диаметров изоляции, равном 1,8. Отсюда можно найти, что коэффициент теплопроводности составляет 0,16 мвт][м град). Во ВНИИКИМАШе разработана многослойная изоляция и технология ее монтажа на трубопроводах, обеспечивающие получение коэффициента теплопроводности 0,10—0,12 мвт/[м-град). [c.267]

Справочник химика 21

Химия и химическая технология