Тугоплавкие металлы испарение с помощью нагрева электронной бомбардировкой

Несмотря на то, что нагрев электронной бомбардировкой является очень гибким и почти универсальным методом испарения, тем не менее, если есть возможность использовать легко контролируемый прямонакальный нагрев, этот метод не используют. Метод электронной бомбардировки имеет практическое преимущество в том случае, когда необходимо получить максимальную чистоту пленки или если отсутствует подходящее вещество для подставки. В этом случае примерами могут служить испарения эпитаксиальных пленок кремния [103] и весьма чистых тугоплавких металлов, таких как Та, ЫЬ, W и Мо [109, 110, 112, 120], для которых требуется температура от 3000 до 3500° С. Специальный интерес представляет также испарение графита и бора с помощью электронной бомбардировки [121, 122]. Наконец, электронные пушки с охлаждаемыми водой подставками все чаще используются для испарения металлов платиновой группы и некоторых из наиболее реактивных металлов, подобных А1, N1 и Ре. [c.77]

С и не взаимодействующие с керамиками, часто испаряют из небольших тиглей (из АЬОз, ВеО и др.), нагрев которых осуществляется с помощью вольфрамовых или молибденовых спиралей путем пропускания через них тока. Иногда в качестве испарителей используются спирали из вольфрамовой проволоки, в которые помешаются кусочки испаряемого вещества. Для испарения тугоплавких металлов применяется нагрев с помощью электронной бомбардировки [6]. Нагрев металлов электронным лучом достаточно прост и обеспечивает максимальную чистоту при проведении экспериментов. Значительно реже для получения тонких пленок используется индукционный нагрев или нагрев током (для проволочных образцов). Следует отметить, что получение тонких конденсированных слоев требует большой тщательности проведения эксперимента. Особое внимание должно уделяться чистоте используемых материалов, обеспечению высокого вакуума (<10 — 10 мм рт. ст.), тщательному контролю всех параметров ведения процесса. Можно с уверенностью сказать, что иногда неконтролируемые условия (загрязнение подложки, присутствие паров масла или воды, случайные изменения режимов испарения и др.) приводят к изменению структуры пленок. Имеющиеся в различных работах несоответствия, а также невоспроизводимость экспериментальных результатов связаны, по-видимому, с неодинаковой тщательностью проведения опытов. [c.15]

Справочник химика 21

Химия и химическая технология