Определение азота полупроводниковых материала

В некоторых типах манометров в качестве сопротивлений используются бусинки из полупроводникового материала. Такие приборы обычно называют термисторными манометрами (см. Иапример, [6]). Вследстнне большой величины отрицательного температурного коэффициента полупроводникового сопротивления эти манометры имеют более высокую чувствительность. Термисторные манометры работают в интервале давлений 10 з — 50 мм рт. ст. Однако из-за большой теплоемкости бусинок по сравнению с проволочками эти приборы более инерционны, чем манометры Пирани. Все типы тепловых манометров необходимо калибровать по данным таких эталонных приборов, как манометр Маклеода. Поскольку в области молекулярных потоков теплопроводность обратно пропорциональна корню квадратному от массы молекулы (см., например, [6]), то покачд-ния прибора обычно зависят от рода газа. Серийные манометры калибруются обычно по азоту или сухому воздуху, коэффициенты теплопроводности которых очень близки. Для определения истинного давления других газов, таких как аргон, показания приборов корректируются с помощью калибровочных кривых. Однако после калибровки манометров их характеристики не остаются постоянными из-за изменения площади и эмиссионной способности поверхности нити. Знание точной величины давления требуется крайне редко, поскольку основное назначение этих нанометров заключается в контроле уровня форвакуума в откачиваемой системе. В этом смысле тепловые манометры очень удобны для автоматизации контроля, поскольку на выходе у них получается электрический сигнал. [c.322]