Диодное распыление с охлаждением

Диодное распыление с охлаждением [c.201]

Проблема нагрева при диодном распылении была решена путем некоторого изменения устройства диодного распыления таким образом, чтобы в процессе нанесения покрытия образец поддерживался в охлажденном состоянии [284], как показано на рис. 10.10, в. Электронную бомбардировку образца удалось заметно уменьшить, заменив дисковую мишень диодного распылителя на кольцевую. Термическое повреждение образца уменьшается еще больше, если поместить постоянный магнит в центр мишени и кольцевой полюсный наконечник вокруг мишени. Та- [c.201]

ЧТО В ранних устройствах для нанесения покрытия диодным распылением могло иметь место повреждение чувствительных к нагреву образцов, особенно если покрытие наносилось в течение долгого времени при высоких токах разряда и неохлажденных образцах. Проблема термического повреждения была в значительной степени преодолена с появлением новой серии распылителей с охлаждением. Подробное исследование примеров артефактов декорирования, которые были описаны в литературе, показывает, что в большинстве случаев недостаточное внимание было уделено чистоте в процессе нанесения покрытия и что артефакты были обусловлены загрязнением из-за обратного потока паров масла и/или использованием неочищенных или неподходящих бомбардирующих газов. Тем не менее было бы неправильно считать, что артефакты никогда не появляются в материалах, нанесенных распылением, и некоторые из наиболее часто встречающихся при этом проблем обсуждаются ниже. [c.206]

Л —распыление ионным пучком б — диодное распыление в — диодное распылсние с охлаждением. [c.200]

В процессе нанесения покрытия катодным распылением может происходить значительное повышение температуры образца. Источниками тепла служат излучение от мишени и электронная бомбардировка образца. Вначале происходит быстрое повышение температуры, которая затем выравнивается и в зависимости от природы покрываемого материала может вызывать термическое повреждение. В зависимости от ускоряющего напряжения и тока разряда температура может стать до 40 К выше температуры окружающей среды. Однако, как указано ранее, эффекта нагрева можно полностью избежать при использовании модифицированного диодного распылителя с охлаждением, где подвод тепла, обусловленный электроцной бомбардировкой, составляет лишь 200 мВт, или частично его уменьшить, работая с обычным диодным распылителем в импульсном режиме при низкой входной мощности. [c.206]

Справочник химика 21

Химия и химическая технология