Источники излучения катодное распыление

В процессе нанесения покрытия катодным распылением может происходить значительное повышение температуры образца. Источниками тепла служат излучение от мишени и электронная бомбардировка образца. Вначале происходит быстрое повышение температуры, которая затем выравнивается и в зависимости от природы покрываемого материала может вызывать термическое повреждение. В зависимости от ускоряющего напряжения и тока разряда температура может стать до 40 К выше температуры окружающей среды. Однако, как указано ранее, эффекта нагрева можно полностью избежать при использовании модифицированного диодного распылителя с охлаждением, где подвод тепла, обусловленный электроцной бомбардировкой, составляет лишь 200 мВт, или частично его уменьшить, работая с обычным диодным распылителем в импульсном режиме при низкой входной мощности. [c.206]

Применение разряда в полом катоде для получения атомного пара натрия рассмотрено в [201, 235]. Авторы применяли трубку с полым катодом, имея в виду в основном два ее свойства наличие эффекта катодного распыления, позволяющего осуществлять, как показано в [236], анализ в полом катоде жаропрочных урановых сплавов и герметичность области ато-мизации. Последнее дает возможность проводить анализ радиоактивных веществ. В качестве источника резонансного излучения и. камеры катодного распыления использовались разборные разрядные трубки с водоохлаждаемым полым катодом, описанные ранее [236]. Свет, излучаемый эмиссионной трубкой, модулировался механическим прерывателем (60 гц). [c.81]

Существование пространственного разделения процессов нагревания газа (темное катодное пространство, где рассеивается энергия распыленных атомов) и возбуждения (отрицательное тлеющее свечение, где кинетическая энергия распыленных атомов соизмерима с энергией атомов рабочего газа), обнаруженное в холодном ПК [234], использовано для разделения этих процессов во времени. Замена стационарного разряда импульсным [92, 209, 659, стр. 23] позволила регистрировать излучение только в моменты возбуждения, когда нагрев газа еще незначителен. Это обеспечило получение узких и ярких резонансных линий распыленных элементов, свободных от самопоглощения. Импульсный источник с ПК был разработан для абсорбционного анализа, однако свойственные ему преимущества делают его перспективным и в применении к эмиссионному анализу. Это относится и к импульсному разряду в неохлаждаемом катоде в газах, обладающих малой теплопроводностью. [c.180]

Разряды низкого давления —это источники излучения, в которых испускание света происходит за счет электрического разряда между двумя электродами при давлениях менее 100 кПа. Анализируемая проба обычно служит катодом. Вещество испаряется в течение разряда путем атомной и ионной бомбардировки. Это явление называют катодным распылением. Вблизи катода образуется тлеющий разряд. Его размер и интенсивность зависит от силы тока. В качестве источников излучения использованы разряды нескольких типов, включая дуговые разряды, лампы Гейсслера и лампы с полым катодом. В конце 1960-х Гримм разработал новый вид тлеющего разряда, в котором плоская проба служила катодом (рис. 8.1-6). Таким образом, пробу можно легко помещать в лампу [8.1-19-8.1-20]. [c.23]

Еще в первых работах А. Уолша (1959 г.) предлагалось использовать тлеющий разряд в полом катоде не только как источник резонансного излучения, но и как атомизатор. Действительно, катодное распыление обладает высокой стабильностью атомного потока, низкой степенью ионизации распыленных атомов и большими сечениями поглощения резонансных линий на центральном частоте Vq. Энергия ионов инертного газа (обычно аргона), бомбардирующих катод, позволяет с примерно одинаковой эффективностью распылять элементы с различ1шми термодинамическими характеристиками, а высокие плотность и энергия электронов в плазме разряда достаточны для разрушения любых химических соединеьшй определяемого элемента, поступивших из пробы в газовую фазу. Однако, как и в случае с графитовой кюветой Львова, несовершенство первых конструкций такого атомизатора привело к тому, что они не получили широкого распространения в аналитической практике. Новая волна интереса возникла в связи с изучением особенностей тлеющего разряда в. лампе Гримма (см. раздел 14.2.1), где реализуется аномальный тлеющий разряд постоянного тока при пониженном давлении инертного газа (0,1-3 кПа) и силе разрядного тока от 10 до 300 мА. Разряд происходит между плоским катодом (анализируемый образец) и цилиндрическим анодом, отстоящим от катода всего на 0,1-0,5 мм. Диаметр катода — не менее 20 мм. Обрабатываемая разрядом площадь определяется внутренним диаметром анода (8-10 мм). [c.843]

Все рассмотренные выше источники света — лампы с полыми катодами, питаемые постоянным или высокочастотным током, высокочастотные и спектральные парометаллические лампы — обладают общим признаком получение паров элемента и возбуждение достигается за счет одного и того же разряда. В этих источниках света исключается возможность независимой регулировки поступления вещества в разряд и возбуждения паров. Поэтому не удивительно, что непрерывное увеличение мощности разряда с целью увеличения яркости для всех рассмотренных источников света сопровождается возрастанием концентрации паров (в результате термического испарения или катодного распыления) и как следствие этого — самопоглощением излучения и уширением резонансных линий. [c.99]

Справочник химика 21

Химия и химическая технология