Ионно-зондовые методы

Таблица 10.3-1. Ионно-зондовые методы

Ионно-зондовые методы [c.347]

Ознакомиться с важнейшими методами анализа поверхности и локального анализа — методами, основанными на использовании неподвижных и сканирующих сфокусированных пучков электромагнитного излучения, электронов, ионов соответственно—фотонно-зондовыми, электронно-зондовыми и ионно-зондовыми методами, полевыми зондовыми и сканирующими (растровыми) зондовыми методами. [c.311]

Ионно-зондовые методы 345 [c.345]

ИОННО-ЗОНДОВЫЕ МЕТОДЫ [c.345]

Общим принципом ионно-зондовых методов является облучение образца (мишени) ионным пучком (первичными ионами) в диапазоне энергий от нескольких сотен электронвольт до нескольких мегаэлектронвольт. В зависимости от величин кинетической энергии и от комбинации первичные частицы/мишень могут преобладать различные взаимодействия, которые приводят к возникновению различных аналитических сигналов (табл. 10.3-1). [c.345]

Ионно-зондовые методы имеют чрезвычайно большое значение для анализа поверхности. К наиболее важным методам относятся спектрометрия резерфордовского обратного рассеяния и масс-спектрометрия вторичных ионов. В следующих разделах мы более подробно остановимся на этих методах. [c.348]

Ионно-зондовые методы 355 [c.355]

Ионно-зондовые методы 363 [c.363]