Микроанализатор электронно-зондовый

Если объект представляет собой монолит, то проводят его локальный или послойный анализ без предварительного разрушения. Наиболее детальный анализ поверхности можно провести с помощью ионного зонда. С помощью специальных технических приемов можно получить на телевизионном экране или фотопленке увеличенное изображение поверхности объекта, образованное ионами выбранного элемента. Повернув ручку настройки масс-анализатора, получают изображение того же участка поверхности, образованное ионами другого элемента. Набор таких фотоснимков представляет собой полную топографию интересующих элементов в выбранной области поверхности образца. Прибор, работающий по- такому принципу, называется ионным микрозондом и является аналогом электронного микрозонда, или электронно-зондового рентгеновского микроанализатора (см. гл. 5). Его преимуществами являются более высокая чувствительность, особенно к легким элементам, а также возможность изучать не только элементный, но и изотопный состав образца. [c.216]

В 1968 г. была опубликована важная работа [105], в которой впервые было описано использование твердотельного детектора рентгеновских лучей в электронно-зондовом микроанализаторе. Хотя эта система едва могла разрешать соседние элементы, она все же продемонстрировала возможность совместного использования двух приборов. В течение нескольких последующих лет разрешение детектора было значительно улучшено — от 500 эВ до менее чем 150 эВ, в результате чего эта методика стала существенно более пригодной к требованиям микроанализа. В настоящее время идея использования твердотельных детекторов в рентгеновской спектроскопии средних энергий (1 —12 кэВ) не является новшеством и их можно найти в боль-шо.м числе растровых и просвечивающих микроскопов, а также в рентгеновских микроанализаторах. [c.210]

Хорошим примером использования в анализе первичных рентгеновских лучей является электронно-зондовый рентгеновский микроанализатор. В этом приборе электроны, испускаемые нагретой тонкой вольфрамовой ленточкой (диаметром 0,1 мм), ускоряются напряжением 5— 40 кВ и направляются на анализируемое вещество, которое служит мишенью. Система поддерживается под высоким вакуумом по пути к образцу пучок электронов проходит через одну или две магнитных линзы. Эти линзы имеют форму катушки с небольшим сквозным отверстием, в котором создается сильное магнитное поле. Изменяя напряженность этого поля, можно сфокусировать электронный пучок на очень малой площади (вплоть до одного квадратного микрона) на поверхности мишени. Рентгеновское излучение, которое испускается из этой небольшой области образца, проходит через диспергирующую систему и регистрируется. Анализ полученного спектра позволяет установить состав выбранной области образца. [c.101]

Рис. 11-23. Схематический вид электронно-зондового микроанализатора [20].

Особой и быстроразвивающейся областью рентгеноспектрального анализа является так называемый локальный анализ электронно-зондовым методом. Метод состоит в бомбардировке электронами высокой энергии (порядка 10—25 кэВ) участков поверхности образца диаметром 0,1... 10 мкм, в результате которой возникают характеристические рентгеновские излучения. Соответствующая система диспергирования лучей и детектирования дает возможность обнаруживать и определять элементы до Z 4 (бериллия). Этот метод применяют для установления состава и неравномерности распределения отдельных элементов в зернах металлов, кристаллах полупроводников и т. д. приборы носят название рентгеновских микроанализаторов (МАР). [c.200]

При химическом анализе вкраплений, микрофаз металлических слитков, геологических и археологических образцов при послойном анализе пленок выяснении состава пятен, штрихов в рукописях, в объектах судебной экспертизы и т. д. требуется проводить локальный анализ. При таком анализе вводят новую характеристику метода — пространственное разрешение, т. е. способность различать близко расположенные участки образца. Пространственное разрешение определяется диаметром и глубиной области, разрушаемой при анализе. Наиболее высокое пространственное разрешение, достигаемое современными методами локального анализа, — 1 мкм по поверхности и до 1 нм (т. е. несколько моноатомных слоев) по глубине. В локальном анализе используют рентгеноспектральные методы (электронно-зондовый микроанализатор), атомно-эмиссионные спектральные методы с л ерным возбуждением, масс-спектрометрию. [c.29]

Принципы определения элементного состава вещества по характеристическим рентгеновским спектрам были изложены в п. 1 гл. 5. Приборы, предназначенные для рентгеноспектрального анализа в микроскопически малых объемах, получили название рентгеновских микроанализаторов (МАР). (Используют также названия электронно-зондовый анализатор или микрозонд ). Определить состав вещества в микрообъемах по характеристическому спектру можно в некоторых электронных микроскопах. [c.567]

Важность метода для геохимиков проиллюстрировали Л. С. Бирке, Е. Дж. Брукс [7]. В прожилках халькопирита часто виден материал с двойным лучепреломлением, оптические свойства которого заставили предположить, что он может состоять из валлериита, содержащего железо и медь в отношении 2 1. Но прожилки шириной всего лишь около 10—15 мкм не давали возможности выделить достаточное количество вещества для анализа. Исследование специально подготовленной поверхности электронным зондовым микроанализатором показало, что прожилки содержат не медь, а, вероятно, сульфид железа (РеЗ). [c.235]

Хорошими информационными возможностями характеризуется электронно-зондовый микроанализ [1025]. Он основан на взаимодействии высокоэнергетического электронного пучка с веществом, приводящем к возникновению рентгеновского характеристического спектра атомов. Электронный пучок диаметром до 1 мкм не изменяет пробы. В работе [1388] подробно описаны принцип действия и устройство стандартного микроанализатора с электронным зондом типа АМХ. Точность локального анализа -1-2%. [c.132]

Распределение легирующих элементов и кремния по толщине образца исследовали с помощью приставки электронно-зондового микроанализатора фирмы КОЯАК к растровому электронному микроскопу ТЕОЬ 18М 6400 при диаметре зонда не более 2 мкм. Анализировали образцы с известной микроструктурой после металлографического травления. Площадь сканирования для определения химического состава сталей составляла (50x50) мкм. [c.7]

Твердый образец подвергают облучению либо электронами, ускоренными в вакууме при разности потенциалов 5-40 кВ, либо первичным рентгеновским излучением высокой энергии и интенсивности. Испускаемое образцом вторичное характеристическое излучение рентгеновской частоты проходит через щель коллиматора на кристалл-анализатор, исполняющий роль диффракционной решетки для определения длины волны излучения, и попадает на регистратор для определения интенсивности отдельных линий и непрерывной записи рентгеновского спектра. Так работают приборы электронно-спектрального химического анализа (ЭСХА), рентгено-спектрального химического анализа (РСХА), электронно-зондовые рентгеновские микроанализаторы и др. В последнее время их объединяют с оптическими и электронными микроскопами для целенаправленного выбора объекта исследования в неоднородных средах. [c.109]

Для локального анализа может быть использована регистрация электромагнитного излучения в оптическом диапазоне при электронно-зондовом возбуждении. Это так называемый микро-катодолюминесцентный анализ. В основе метода лежит образование электронно-дырочных пар и их последующая излучатель-ная рекомбинация. Аппараты для микрокатодолюминесцентного анализа могут быть построены на базе любого рентгеновского микроанализатора или растрового электронного микроскопа. Локальность растрового микрокатодолюминесцентного анализа зависит от свойств исследуемого образца. Этот метод более селективен при определении примесей, дающих глубокие уровни в запрещенной зоне, и в ионных кристаллах. [c.102]

Образец, полученный при 65 кбар и 450° из аурипиг-мента, был просмотрен на электронио-зондОвом микроанализаторе. Обнаружено две фазы. Как показал рент-гено-фазовый анализ, эти фазы представляют собой а-АзгЗз и р-АзгЗз. [c.240]

Годы, прошедшие с момента выхода предыдуш,его издания данной монографии (имеется перевод Практическая растровая электронная микроскопия.—М. Мир, 1978), ознаменовались бурным развитием принципов электронно- и ионно-зондовой аппаратуры и методов исследования. В первую очередь сюда следует отнести создание серийных растровых оже-электронных микроанализаторов, таких, как ЛАМР-10 (фирма ЛЕОЬ), установок электронно- и ионно-лучевой литографии, метрологических и технологических растровых электронных микроскопов и т. д. Существенно улучшились параметры приборов. Так, сейчас серийные растровые электронные микроскопы с обычным вольфрамовым термокатодом обладают гарантированным разрешением 50—60 А, модели высшего класса с наиболее высокими характеристиками имеют встроенную мини-ЭВМ, с помощью которой автоматически устанавливается оптимальный режим работы прибора, существенно облегчилось и стало более удобным обращение с прибором. В ряде случаев вместо обычных паромасляных диффузионных насосов для откачки используются турбомолекулярные и ионные насосы, создающие чистый вакуум вблизи образца, за счет чего снижается скорость роста пленки углеводородных загрязнений на объекте. [c.5]