Метод ионо-зондового микроанализа

Наиболее широко для исследования расположения, состава и структуры компонентов применяют методы, основанные на зондировании пучком электронов высокой энергии полезно использовать также лазерный или ионный пучки. Самый специфичный среди этих трех методов — ионно-зондовый микроанализ— подробнее рассматривается в разд. 3 этой главы. Техника из.мерений довольно детально описана в литературе [1]. [c.398]

МЕТОД ИОННО-ЗОНДОВОГО МИКРОАНАЛИЗА [c.430]

В этом методе, так же как в методе ионно-зондового микроанализа, бомбардировка ионами приводит к удалению атомов с поверхности образца, и поэтому можно исследовать изменение состава по его глубине. Аналитическая чувствительность метода, по-видимому, вполне достаточна предел обнаружения определенно меньше 1 % монослоя. [c.433]

Конфигурация электродов изображена на рис. 9.7. Пространственное разрешение, которое может быть достигнуто при локальном анализе с противоэлектродом, зависит от диаметра проволочки и продолжительности действия искры, В цитируемой работе при каждом анализе образовывался кратер со средней глубиной 0,6 мм и диаметром 1 мм. Этот объем соответствует расходу 4 мг образца. Пробоотбор осуш ествлялся на уровне микроанализа, однако пространственное разрешение было значительно хуже, чем в методе электронно-зондового микроанализа. Тем не менее локальный анализ на масс-спектрометре с искровым источником ионов перспективен, поскольку за один эксперимент позволяет [c.324]

Л. а. микровключений и микроучастков осуществляют электронно-зондовыми методами, ионным микроанализом и др. [c.611]

Одним из наиболее интересных способов анализа поверхно- сти твердых тел и тонких пленок (а также других образцов) является метод, в котором для распыления и ионизации вещества используется пучок так называемых первичных ионов. Вторичные ионы, выбитые с поверхности образца, анализируются при помощи масс-спектрометра. Этот метод позволяет получить примерно такое же пространственное разрешение, как и в элек-тронно-зондовом микроанализе, и в то же время обладает высокой чувствительностью, характерной для масс-спектрометрии с искровым источником ионов. Приборы с ионной бомбардировкой различных фирм отличаются конструктивным оформлением и аналитическими возможностями. Они будут рассмотрены здесь примерно в том же порядке, как и происходило их развитие. [c.410]

Л. а. субмикронных и поверхностных слоев проводят методами рентгеноспектрального анализа (см. Электронно-зондовые методы), катодолюминесцентного микроанализа, спектроскопии рассеяния быстрых ионов (резерфордовского рассеяния), масс-спектрометрии вторичных ионов в динамич. режиме, оже-спектроскопии и др. При послойном анализе субмикронных слоев без разрушения образец бомбардируют заряженными частицами (электронами, ионами). В зависимости от их энергии меняется глубина, на к-рой происходят процессы, приводящие к появлению аналит. сигнала - рентгеновского излучения, резонансных ядериых р-ций, резерфордовского рассеяния и др. Послойный анализ можно также проводить, варьируя угол отбора, т.е. угол, под к-рым к исследуемой пов-сти располагается приемник аналит. сигнала. [c.610]

Для H.a. примешпот методы рентгенофлуоресцентного, активационного, рентгенорадиометрич. анализа и др. Когда спец. подготовки образца х анализу не требуется, H.a. можно проводить методами локального анализа (ионный микроанализ, электронно-зондовые методы, методы фотоэлектронной и рентгеноэлектронной спектроскопии, масс-спектрометрия вторичных ионов и др.). [c.220]

Ограниченность применения для этой цели методов электронной микррскопии, электронно-зондового и ионного микроанализа, рентгеноэлектронной спектроскопии связана с использованием высокого вакуума и длительностью эксперимента, что существенно искажает реальную картину процессов. Наиболее информативными в таком случае представляются дифференциально-термический и рентгеноструктурный анализы. [c.75]

Справочник химика 21

Химия и химическая технология