Спектрометрия резерфордовского

Спектрометрия резерфордовского обратного рассеяния (POP) [c.348]

RBS спектрометр резерфордовского рассеяния [c.22]

Если мишень бомбардируют частицами с низкой массой (например, Не +, М = 4), преобладают упругие кулоновские взаимодействия между ядрами, приводящие к упругому рассеянию первичных ионов под большими углами. Измерение спектров потерь энергии отраженных первичных ионов является основой методов спектроскопии рассеяния. Взаимодействия между ядрами наиболее ярко выражены при высоких энергиях первичных ионов (1-3 Мэв). В этой области работает спектрометрия резерфордовского обратного рассе- [c.345]

Ионно-зондовые методы имеют чрезвычайно большое значение для анализа поверхности. К наиболее важным методам относятся спектрометрия резерфордовского обратного рассеяния и масс-спектрометрия вторичных ионов. В следующих разделах мы более подробно остановимся на этих методах. [c.348]

Л. а. субмикронных и поверхностных слоев проводят методами рентгеноспектрального анализа (см. Электронно-зондовые методы), катодолюминесцентного микроанализа, спектроскопии рассеяния быстрых ионов (резерфордовского рассеяния), масс-спектрометрии вторичных ионов в динамич. режиме, оже-спектроскопии и др. При послойном анализе субмикронных слоев без разрушения образец бомбардируют заряженными частицами (электронами, ионами). В зависимости от их энергии меняется глубина, на к-рой происходят процессы, приводящие к появлению аналит. сигнала - рентгеновского излучения, резонансных ядериых р-ций, резерфордовского рассеяния и др. Послойный анализ можно также проводить, варьируя угол отбора, т.е. угол, под к-рым к исследуемой пов-сти располагается приемник аналит. сигнала. [c.610]

Разрешение по глубине спектрометрии резерфордовского обратного рассеяния составляет 20-50 нм. [c.352]

Для исследования подобного рода обычно выбирают спектрометрию резерфордовского обратного рассеяния не только потому, что он является недеструктивным (число атомов, удаляемых с поверхности в результате упругого рассеяния, практически незначимо), но и благодаря экспрессности и точности. Необходимо отметить, что преимущества метода POP особенно четко проявляются при анализе тяжелых атомов на легких подложках. Только в этом случае аналитические пики отделены от сигнала подложки. В случае пленок, состоящих из легких элементов на тяжелой матрице, аналитические сигналы располагаются на фоне значительного фонового сигнала подложки, что существенно затрудняет расчеты и делает их менее точными. Чувствительность метода по отношению к легким элементам также гораздо хуже, поскольку сечение а пропорционально Z . Другое ограничение при анализе тонких пленок заключается в толщине пленок. Толщина пленок не должна превышать 0,5- [c.354]

К методам электронной спектроскопии относятся методы, в которых эмитируемыми частицами являются электроны, а зондирующими - электроны, фотоны и ионы. К методам ионной спектроскопии относятся методы, в которых вторичными частицами являются ионы. К наиболее распространенным методам электронной спектроскопии относятся Оже-электронная спектроскопия, рентгеновская и УФ-фотоэлектронная спектроскопия, спектроскопия энергетических потерь электронов, к методам ионной спектроскопии - вторичная ионная масс-спектрометрия, спектроскопия ионного рассеяния, спектроскопия резерфордовского обратного рассеяния. [c.78]