Изготовление микроустройств

Процесс изготовления микроаналитических систем базируется на технологиях, использующихся при производстве интегральных схем (чипов). В их основе лежат хорошо изученные и отработанные на практике процессы фотолитографии и травления либо в растворах, либо в газовой фазе (например, реакционное ионное травление). На рис. 15.2-1 представлен типичный процесс изготовления устройства с системой микроканалов. Подложку, обычно из кремния, стекла или кварца (в принципе, возможно использование полимеров), покрьшают пленкой металла (обычно хром или золото с тонким слоем хрома для улучшения адгезии) и слоем фоторезиста. Затем с использованием фотошаблона, на котором нанесен рисунок будущего микроустройства, поверхность подвергают действию УФ-излучения. После соответствующей химической обработки (проявления) пленка фоторезиста удаляется с участков, подвергнутых экспозиции. Пленка металла, не защищенная фоторезистом, удаляется в травильных ваннах. Затем, на второй стадии травления травится и сама подложка (обычно в НГ/НКОз или КОН). В зависимости от выбранного травителя и типа подложки получающиеся микроканалы имеют различный профиль. Стеклянные и другие аморфные подложки обычно изотропны по свойствам и травятся с одинаковыми скоростями в любом выбранном направлении. Протравленные каналы, как правило, имеют скругленные кромки. На монокристаллических кремниевых или кварцевых подложках в присутствии подходя1цих травителей возможно анизотропное травление, приводящее к получению каналов со специфичными профилями, зависящими от расположения кристаллографических плоскостей, подвергнутых травлению. На заключительной стадии процесса по- [c.642]

Первые попытки миниатюризации схемы ПИА и интегрирования компонентов гидравлической схемы в один блок были предприняты уже в 80-х годах. Однако, данная концепция опережала свое время, поскольку в те годы технология изготовления насосов и инжекторов малых объемов еще не была отработана, а уменьшение используемых объемов реагентов и их стоимости не бьшо столь актуальным, как в настоящее время. Повторный интерес к миниатюризации связан с отработкой технологии осуще-ствлеьшя анализов в микроустройствах, совмещающих инжекцию пробы, добавление реагентов, смешение, инкубацию, разделение и детектрование компонентов. [c.264]

Справочник химика 21

Химия и химическая технология