Метилтрихлорсилан технический

Технические требования к метилтрихлорсилану приведены в таблице [c.829]

Исходное сырье метилтрихлорсилан или этилтрихлорсилан (не менее 99% основного продукта) едкий натр (технический, 42%-ный раствор) безводный этиловый спирт (технический). Процесс осуществляют полунепрерывным способом (рис. 51). [c.204]

Наиболее трудноудаляемыми примесями в техническом метилтрихлорсилане являются бор (2-10 % ), фосфор [c.117]

Б результате сравнения времен удерживания чистых веществ и примесей было установлено, что технический четыреххлористый кремний содержит хлористый водород, фосген, трихлорсилан, метилтрихлорсилан, дихлорметан, 1,2-дихлорэтан, хлороформ, четыреххлористый углерод и этилтрихлорсилан. Одно соединение осталось неидентифицированным. [c.191]

Хороший результат дал метод хроматографической очистки метилтрихлорсилана — исходного продукта для синтеза полупроводникового карбида кремния [22—25]. Для выращивания монокристаллов 5 С методом высокотемпературного пиролиза паров СНз51С1з необходимо иметь очень чистый метилтрихлорсилан. Поэтому из технического продукта необходимо удалить примеси хлоридов А1, Ре, Mg, Са, Р, Си, В, Н , Сг, 5п, Л (10-5 10- вес. %), а также растворенные в метилтрихлорсила-не кислород и азот (0,02%). Очистку проводили при 50 °С на автоматическом препаративном хроматографе, предназначенном для разделения и очистки веществ с температурой кипения до 100 °С [24, 25], на колонке из нержавеюшей ста.ли, заполненной диатомитовым носителем ИНЗ-600 с 20% силикона ОС-701. Исследование семи жидких фаз различной полярности (вазелиновое масло, ВКЖ-94, ПФМС-2, ВС-701, фторсиликоновое масло 169, динонилфталат и дибутилфталат) показало [c.214]

Содержание HsSi U в чистом метилтрихлорсилане достигает 99,8% в техническом — 95%. Технический продукт — жидкость соломенного цвета с удельным весом от 1,268 до 1,275. [c.102]

Справочник химика 21

Химия и химическая технология