Механические форвакуумные и двухроторные насосы

На первом этапе вакуумный объем в основном откачивается форвакуумными механическими или двухроторными насосами до давления 1 Па. [c.78]

На основе первых трех насосов промышленность выпускает вакуумные агрегаты, в которых двухроторные насосы скомпонованы с насосами предварительного разрежения. Обычно быстрота действия насосов предварительного разрежения составляет не менее 1/15 быстроты действия двухроторных насосов. Вакуумные агрегаты АВМ-5—2, АВМ-50—1 и АВМ-150—1 имеют примерно в три раза меньший расход энергии и занимают в два-три раза меньшую производственную площадь, чем механические вакуумные насосы с масляным уплотнением той же быстроты действия в области давлений от 100 до 5 Па. Важным положительным моментом является также то обстоятельство, что роторный механизм не требует смазки и поэтому источниками загрязнения откачиваемого объекта парами масла могут быть только вспомогательный форвакуумный насос либо сальники роторных валов. [c.20]

Механические форвакуумные и двухроторные насосы работают в области среднего вакуума, т. е. при давлении от 10 до 10 Па. [c.61]

Поскольку двухроторные насосы работают в паре с механическими форвакуумными, их компонуют в виде агрегата на едином основании. [c.66]

Основным элементом вакуумных систем являются насосы, которые предназначены для создания требуемого вакуума в камерах установок, а также для поддержания рабочего давления при проведении технологического процесса. В установках для изготовления тонкопленочных структур ИМС применяются механические форвакуумные и двухроторные насосы, пароструйные диффузионные, а также криогенные и турбомолекуляр-ные насосы. [c.60]

Как работают механические форвакуумные, вращателы1ые пластинчато-роторные и двухроторные насосы [c.81]