Комбинированные шлюзовые системы

Комбинированные шлюзовые системы [c.14]

В вакуумном оборудовании широко применяют комбинированные шлюзовые системы. При большой разнице давления в шлюзовых камерах между ними применяют закрытые или полуоткрытые шлюзовые системы, наиболее рационально и экономично используя откачные средства. При малой разнице давлений между этими камерами применяют открытые шлюзовые системы,. [c.14]

Рис. 5. Комбинированная шлюзовая система

Рис. 8. Установка периодического действия с комбинированной шлюзовой системой

Рис. 14. Установка полунепрерывного действия линейной компоновки с комбинированной шлюзовой системой

Пользуясь формулами (5) (8), можно достаточно точно рассчитать давление Р в установках с открытой, полуоткрытой и комбинированной шлюзовыми системами, подставив значения Сь. .., Qn Зи 5 и и , , [c.39]

В зависимости от степени герметизации, вакуумных камер относительно друг друга шлюзовые системы можно разделить на закрытые, открытые, полуоткрытые и комбинированные [c.4]

В вакуумной установке с комбинированной шлюзовой системой (рис. 5) первую ступень откачки герметизируют от атмосферы и последующих ступеней затворами 1 и 3 (закрытая ШС), а шлюзовую камеру откачивают форвакуумным насосом. Камеру нагрева 4, которая является второй ступенью откачки, откачивают высоковакуумным насосом и соединяют с рабочей камерой 6 меж-камерным каналом 5 (открытая ШС). Канал также обеспечивает перепад давлений. В рабочей камере в этом случае давление может достигнуть 10 Па, так как на нее почти не влияет первая ступень откачки комбинированной щлюзовой системы. [c.14]

Комбинированные шлюзовые системы разнообразны, поскольку в них сочетаются закрытые, открытые и полуоткрытые (5истемы. [c.14]

В установках полунепре--рыв ного действия широко используют комбинированные шлюзовые системы. На рис. 14 приведена установка, в которой рабочая 4 и высоковакуумные шлюзовые камеры 3 и 5 разделены между собой каналами (открытая ШС), а иа загрузочной и выгрузочной шлюзовых камерах / и 7 имеются затворы 2 и 6 (закрытая ШС). Разность давлений в рабочей 4 ц высоковакуумных шлюзовых камерах 3 и 5 поддерживается за счет щелевых [c.25]

Рис. 17. Установка непрерывного действия круговой компонОвкн с комбинированной шлюзовой системой

Закрытые и комбинированные шлюзовые системы нашли наибольшее распространение в установках с одной и двумя шлюзовыми камерами, открытые —в установках с неразрывным транспортным кайалом [c.43]

Справочник химика 21

Химия и химическая технология