Откачные средства

Для развития откачных средств, используемых в настоящее время для получения высокого и сверхвысокого вакуума, характерны два направления. Первое направление основано на модификации откачных средств, оборудованных традиционными для вакуумной техники механическими и пароструйными насосами. С целью повышения предельного вакуума и уменьшения миграции масла из насосов широкое применение здесь находят различные ловушки, использующие вымораживающие и сорбирующие средства, а также ловушки, устройство которых основано на искусственной ионизации масляных паров при совместном действии электрического и магнитного полей, на крекинге углеводородов с последующим замуровыванием их на стенке ловушки нарастающим слоем титана и т. п. [c.85]

Сравнение откачных средств [c.126]

Специфической особенностью работы вакуумных напылительных установок является резкое увеличение газовыделения каждый раз, как только начинается интенсивный прогрев очередного распыляемого материала. Это газовыделение должно быть скомпенсировано за счет большой скорости откачки используемого насоса. Кроме того, при циклической работе напылительной установки неизбежно периодическое сообщение ее рабочего объема с воздухом, имеющим высокую относительную влажность, вследствие чего стенки рабочей камеры и поверхности находящихся в ней механизмов могут сорбировать влагу. Эти обстоятельства заставляют предъявлять определенные требования к откачным средствам в части минимальной длительности пускового периода, большой скорости откачки и ее постоянства в широком диапазоне давлений, а также незначительного количества загрязнений, вносимых из насоса в откачиваемый объем. [c.126]

Следует отметить, что за последние годы все чаще начинают встречаться описания комбинаций различных откачных средств, целью которых является увеличение скорости откачки, расширение диапазона рабочих давлений и снижение времени, необходимого для получения сверхвысокого вакуума. Так, например, установлено, что быстрота действия геттерно-ионного насоса значительно возрастает, если параллельно к нему подсоединить небольшой магнитно-электроразрядный насос. Интерес представляет также комбинация магнитно-электроразрядного насоса с криогенным насосом, охлаждаемым жидким азотом. При этом в результате интенсивного вымораживания паров воды и углекислого газа время, необходимое для получения давления 1 10 мм рт. ст., сокращается в несколько раз. [c.134]

При выборе откачных средств для напылительных установок первостепенное значение имеет количество загрязнений, вносимых из насоса в откачиваемый объем. Поскольку рабочий объем установки периодически сообщается с атмосферой, то находящиеся в нем стеклянные и металлические поверхности, ранее очищенные различными химическими способами, неизбежно покрываются молекулами воды и гидроксильных групп. Этот слой в значительной мере защищает поверхность ОТ интенсивного поглощения молекул органических и кремнийорганических жидкостей и молекул углеводородов, выделяемых из резиновых прокладок. Однако если предварительно химически очищенная поверхность за-134 [c.134]

Другим способом получения сверхвысокого вакуума является использование комбинированной откачки. На рис. 3-90 изображена рабочая камера напылительной установки, в которой используется комбинированная откачка с помощью паромасляного диффузионного насоса, а также криогенного насоса 1, охлаждаемого жидким гелием, и азотита 2. В результате комбинации указанных откачных средств в рабочем объеме установки без применения прогрева удается быстро получить сверхвысокий вакуум. [c.288]

Предельный вакуум, или то наинизшее давление, которое можно получить в откачиваемом объеме, зависит не только от откачных средств, но во многом также и от герметичности и газоотделения стенок вакуумной аппаратуры. В связи с этим для получения в откачиваемом объеме заданного предельного вакуума при минимальном времени, затрачиваемом на процесс откачки, к самой вакуумной аппаратуре и материалам, используемым при ее изготовлении, предъявляется ряд специ-154 [c.154]

Конструкции вакуумных установок, выбор откачных средств и приборов для измерения вакуума существенно зависят от назначения установки. Так, например, вакуумная сушка пищевых продуктов проводится при сравнительно небольшом разрежении (порядка нескольких миллиметров ртутного столба) при этом из высушиваемых продуктов выделяется большое количество паров воды. Поэтому в сушильных установках применяются механические вакуумные насосы, пригодные для откачки паров воды. Вакуумная плавка металлов проводится при давлениях — 10 з мм рт. ст. и сопровождается интенсивным выделением газов из расплавленных металлов, вследствие чего в плавильных печах применяют вакуумные паромасляные насосы, имеющие большую быстроту действия в указанном диапазоне давлений. Высоковольтные установки для ядерных исследований требуют создания [c.3]

Успехи в развитии таких отраслей науки и техники, как электроника и радиоэлектроника, химия и металлургия, получение сверхчистых и полупроводниковых материалов и многих других, были бы невозможны без прогресса вакуумной техники, одной из основных задач которой является создание вакуумных откачных средств, не вносящих органических загрязнений в откачиваемые объемы. [c.3]

Новым видом откачных средств являются крионасосы, в основу работы которых положен метод конденсации газов на поверхностях, охлаждаемых до низких (криогенных) температур. [c.3]

Сами системы подачи реагентов, откачные средства, системы возбуждения плазмы, узлы термостабилизации пластин и материалы покрытий внутренних стенок реакторов и оснастки будут совершенствоваться и специализироваться под оптимальные условия проведения конкретной химической реакции осаждения требуемого функционального слоя. [c.72]

ЭФН при всем многообразии протекающих в них физико-химических процессов как компоненты вакуумной системы принадлежат к одному классу откачных средств - насосам поверхностного действия. С этих позиций ЭФН и системы откачки на их основе представляют собой совокупность отражающих и сорбирующих молекулы газа по- [c.35]

Многие прогрессивные технологические процессы включают нанесение покрытия в вакууме, в первую очередь при изготовлении тонкопленочных элементов интегральных схем. Важная роль здесь принадлежит вакуумному оборудованию, повышение производительности ко- торого — задача технически сложная. Для ее выполнения применяют групповые устройства загрузки и обработки изделий, высокопроизводительные устройства нанесения покрытия, скоростные откачные средства. [c.3]

На рис. 3 дана схема открытой шлюзовой системы, которая состоит из шлюзовой камеры 9 с откачным средством, камеры высокого давления 6, межкамерных кана- [c.9]

Уплотнитель, применяемый в полуоткрытой шлюзовой системе, позволяет значительно уменьшить поток воздуха из атмосферы через межкамерные каналы. В результате этого уменьшаются-габариты шлюзовой системы, используются менее мощные откачные средства и могут быть увеличены зазоры в межкамерных каналах. [c.11]

В вакуумном оборудовании широко применяют комбинированные шлюзовые системы. При большой разнице давления в шлюзовых камерах между ними применяют закрытые или полуоткрытые шлюзовые системы, наиболее рационально и экономично используя откачные средства. При малой разнице давлений между этими камерами применяют открытые шлюзовые системы,. [c.14]

Зазоры между каналами и элементами транспортирующего устройства обеспечивают свободное движение и создают сопротивление натеканию воздуха из атмосферы. Ка дая камера снабжена откачным средством воздуха, поступающего через зазоры. Таким образом давление в шлюзовых камерах понижается ступенчато. [c.29]

В расчет параметров шлюзовой системы входит определение ее геометрических размеров, числа шлюзовых камер,, откачных средств, а также давлений в рабочей и шлюзовых камерах. В основе расчета лежит баланс газовых потоков.. [c.37]

Величины Лв, Лм, Б, являются постоянными. Для упрощения расчета шлюзовых систем считают, что поток газа, поступающий в шлюзовую камеру, удаляется откачным средством этой камеры, т, е. [/г(, 1)(Рг—Р, 1)яйО, а Р, 1 Р , тог/(а выражение (9) можно упростить [c.41]

В корпусе насоса 1 (рис. 5.2) часть объема отделена металлической сеткой 2, и в образовавшуюся полость засыпан адсорбент 3 - поглощающий материал. Снаружи на корпус насоса надевается сосуд 4 с жидким азотом (температура - 77К), и охлажденный адсорбент начинает активно поглощать газы и пары, поступающие из откачиваемого объема. Процесс этот может продолжаться довольно долго, до насыщения адсорбента газами. После этого производится регенерация адсорбента - его обезгаживание. Для этого вместо сосуда с жидким азотом на корпус насоса надевается нагреватель, и нагреваемый адсорбент выделяет поглощенные ранее газы, которые удаляются другим откачным средством. Обезгаженный и охлажденный насос вновь готов к работе. [c.121]

Выбор откачных средств (основных — насосов и вспомогательных— ловушек, маслоотражателей и т. п.). [c.494]

Второе направление, интенсивно развившееся за последние 5—10 лет, основано на использовании принципиально новых откачных средств. К ним относятся тур-бомолекулярные насосы, адсорбционные угольные и цио-литовые насосы, титановые испарительные, электро-разрядные насосы и конденсационные насосы. [c.86]

Возможность работы на силоксане ДС-705 без азотных ловушек позволяет значительно повысить эффективность использования быстроты действия паромасляных насосов, и насосы этого типа целесообразно применять в качестве основного откачного средства при проектировании высокопроизводительных ненрогреваемых напылительных установок. [c.129]

В работе [Л. 86] производилось сопоставление эксплуатационных свойств паромасляного и магнитно-электроразрядного насосов при изменении газовой нагрузки. При этом было установлено, что если после напуска в откачиваемый объем газа до давления 10 мм рт. ст. паромасляный насос очень быстро (в течение нескольких минут) снижает давление до предельного (2-10 мм рт. ст.), то при использовании магнит-но-электрозарядного насоса даже для снижения давления с 3 10 до 3 10 мм рт. ст. требуется значительное время (около получаса). В работе делается вывод, что при больших или сильно меняющихся нагрузках (которые, кстати, обычно имеют место при очередном разогреве напыляемого вещества) следует избегать применения магнитно-электроразрядных насосов в качестве основного откачного средства. Выводы, сделанные в этой работе, могут быть объяснены при сравнении скоростных характеристик различного вида насосов (рис. 2-26). В отличие от паромасляного насоса ((кривая 2), имеющего постоянную быстроту действия вплоть до давления 1 Ю мм рт. ст., магнитный электроразрядный насос (кривая 4) снижает свою быстроту действия уже при давлении (3—5) 10 мм рт. ст. По этой причине при резких газовыделениях магнитно-электроразрядные насосы, не обладающие достаточно большой быстротой действия, могут захлебываться , и потребуется длительное время для восстановления в откачиваемом объеме рабочего вакуума. Резкое снижение быстроты действия при увеличении давления, длительный пусковой период (несколько часов), высокая селективность при откачке газовой смеси, большие габариты, вес и высокая стоимость существенно ограничивают применение магнитно-электроразрядных насосов в напылительных установках промышленного типа. [c.130]

Однако достоинством этого насоса является возможность регулирования в широких пределах скорости откачки за "счет изменения мощности нагрева испарителя. При повышении мощности нагрева испарителя скоростная характеристика насоса сдвигается в область больших давлений. Эта особенность насоса в сочетании со сравнительно небольшой инерционностью позволяет использовать его в качестве вспомогательного откачного средства, включая в период, непосредственно предшесг-вующий обильному газовы-делению. [c.131]

Таким образом, ни высоковакуумные, ни вращательные мас-ля1ные насосы не могут удовлетворительно работать в области давлений — 10 мм рт. ст. Между тем имеется много отраслей промышленности, где требуются откачные средства, эффективно работающие именно в этой области давлений (плавка и обезгаживание под вакуумом, сушка, пропитка под вакуумом и т. д.). [c.22]

Вспомогательные откачные средства. Криоконденсационные насосы, как и все насосы поверхностного действия, характеризуются резкой селективностью по откачке различных газов. Поэтому вакуумные системы с использованием этих насосов требуют вспомогательных средств откачки. [c.115]

В открытых шлюзовых системах вакуумные камеры сообщаются между собой межкамерными каналами, через которые перемещается транспортирующее устройство 5 с изделиями б (рис. 2). Форма транспортирующего устройства такой шлюзовой системы повторяет форму межкамерных каналов 1 и 4. Межкамерные каналы создают частичное сопротивление поступлению воздуха из атмосферы в шлюзовые камеры 2-и из них в рабочую камеру 5. Откачные средства шлюзовых камер откачивают часть воздуха, поступившего из канала и создают небольшое разрежение. Остальную часть воздуха, поступившего лз межкамерного канала 4, откачивает от-качное средство рабочей камеры, создавая рабочий вакуум. О > [c.8]

Количество шлюзовых камер в открытой шлюзовой системе, зазоры в межкамерных каналах и откачные средства выбирают в зависимости от давления, которое необходимо создать в рабочей камере. Чтобы достичь в рабочей камере более низкого, давления, применяют многокамерную (многоступенчатую) шлюзовую систему, разделекную несколькими межкамерными каналами, и оснащают ее более эффективными откачными средствами. , [c.9]

Для устранения недостатков открытых шлюзовых систем на входе первого канала устанавливают скафандры с обеспыленной средой, увеличивают зазоры между сопряженными поверхностями, а для обеспечения необходимого вакуума в шлюзовых камерах используют более мощные откачные средства. Кроме того, трущиеся поверхности шлифуют, полируют, наносят на них хромовое шокрытие, а также смазывают их пастами, например, на основе дисульфида молибдена. [c.11]

Чтобы повысить производительность установки периодического действия со шлюзовой системой, нужно сократить время откачки шлюзовых камер, уменьшить об-йемы этих камер и оснастить их высокопроизводительными откачными средствами. Кроме того, следует увеличить количество загружаемых изделий, используя групповые носители и магазинные устройства, а также совместить вспомогательные рабочие операции с основными, обрабатывая-изделия на нескольких позициях, и ускорить процесс охлаждения изделий в шлюзовой камере напуском инертного газа. [c.21]

Справочник химика 21

Химия и химическая технология