Скорость осаждения, датчики кварцевые

А или Ли. Растворимость этих трех металлов в молибдене и молибдена в них очень мала. Было проведено пятьдесят циклов испарений Си из одного и того же молибденового тигля, причем не было обнаружено разрушения последнего, в то время как проникновение золота в стенки молибденового тигля было обнаружено уже после примерно десяти циклов испарения. Нагреватель с джоулевым нагревом состоит из двух разрезанных пополам танталовых лент, соединенных вместе точечной сваркой (см. левую часть рис. 16). Поддерживаемый с двух концов медными зажимами, этот нагреватель имеет цилиндрическую форму и не контактирует с остальными частями испарителя. Дополнительным преимуществом перфорированного в виде змейки нагревателя из листового металла по сравнению с проволочной спиралью является большая излучающая поверхность. Вследствие применения нескольких тепловых экранов подводимой, мощности около 500 Вт вполне достаточно для испарения Си и А . Система этого испарителя обеспечивает очень стабильные скорости испарения и легко автоматизируется посредством системы обратной связи от ионизационного или кварцевого датчиков скоростей осаждения. [c.63]

Использование тиристоров для автоматического контроля скорости испарения началось недавно. Работа таких систем контроля была рассмотрена в обзоре Штекельмахера [279]. Бас с сотрудниками [343, 344] описали систему контроля как скорости осаждения, так и толщины пленки с использованием кварцевого датчика. Последняя статья представляет общий интерес, поскольку компоненты системы были сконструированы в виде модулей, которые рбладают большой гибкостью в осуществлении различных функций контроля процесса испарения. Например, управляющий сигнал может быть получен от датчика, отличного от кварцевого датчика. Более того, хотя сисг ёма первоначально и предназначалась для контроля прямонакальных испарителей, схема контроля является дo faтoчнo гибкой, чтобы стабильно работать с другими типами испарителей, имеющими иные зависимости скорости испарения от мощности. Например, скорость испарения при использовании нагрева электронным лучом заметно меняется при изменении электронного тока. Испарители с индукционным нагревом также могут управляться системой обратной связи. Однако высокая стоимость, а также необходимость большой площади и требования техники безопасности для генератора и дросселя насыщения обычно ограничивают использование таких испарителей. Турнер с сотрудниками [334] описал испаритель сплава никель — железо с индукционным нагревом, который автоматически управлялся от резисторного датчика. [c.162]

Справочник химика 21

Химия и химическая технология