Справочник химика 21

Химия и химическая технология

Статьи Рисунки Таблицы О сайте English

Кольцевые и дисковые испарители

    Кольцевые н дисковые испарители. На практике испарение осуществляют из испарителей, поверхность которых не является бесконечно малой. При использовании испарителей конечных размеров распределение пленок по толщине может быть получено интегрированием уравнений (51а) а (53а). Это равносильно суммированию в данной точке толщин ве- [c.78]

    На рис. 25 представлены результаты машинного расчета распределения покрытия по толщине для испарителей сравнительно большого диаметра. Вызывает удивление тот факт, что испаритель с радиусом 5 = 0,5Л дает распределение, близкое к распределению от одиночного точечного источника. Дальнейшее увеличение радиуса испарителя улучшает однородность пленки вблизи центра подложки, но не столь эффективно, как в случае кольцевого испарителя. Для дисковых испарителей с малым диаметром уравнение (62) можно разложить в ряд, в результате чего имеем следующее выражение [c.81]


    В заключение следует отметить, что распределения по толщине, полученные от дискового или кольцевого испарителя, диаметр или ширина которых конечны, но малы по сравнению с расстоянием испаритель — подложка, адекватно описываются формулами для источника с одним элементом поверхности и тонкого кольца. Поскольку кольцевые испарители с большим диаметром создают в центре однородную толщину пленки на значительно большей поверхности, чем малые испарители, существенно улучшить распределение за счет увеличения размера испарителя в виде обычной плоской нити или тигля невозможно. Преимущество испарителей с большой поверхностью заключается в первую очередь в том, что они при необходимых для испарения температурах нити имеют большую скорость испарения с соответственно низким давлением паров. Следовательно, в таких испарителях вероятность химического взаимодействия между испаряемым веществом и материалом испарителя уменьшается. [c.82]

    Дисковые испарители, у которых щелок, находящийся в ванне, смачивает поверхность вращающихся дисков, имеющих вид колец. Печные газы проходят между дисками, выпаривая щелок, как находящийся на кольцевой поверхности дисков, так и в струях, стекающих с нее в ванну. Дальнейшее усовершенство- 5аиие дисковых испарителей пошло по пути улучшения конструкции и скорости вращения элементов, создающих пленку щелока в кольцевом пространстве дисков, соприкасающихся с печными газами и перемещающих щелок от входа к выходу. [c.179]

    НИМИ ленточными сорбирующими поверхностями. В насосах 1Х-Х1У коаксиально корпусу размещены источники атомов геттера (испарители) сферический (IX) нитевидный, или проволочный (X) кольцевой (XII) дисковый (XIII) полусферический (XIV). [c.54]


Смотреть главы в:

Технология тонких пленок Часть 1 -> Кольцевые и дисковые испарители




ПОИСК





Смотрите так же термины и статьи:

Испаритель

Кольцевой ток



© 2025 chem21.info Реклама на сайте