Кольцевые испарители

Цифры обозначают отношение радиуса к кратчайшему расстоянию до испарителя Л. Пунктирная кривая Г/г соответствует распределению для кольцевого испарителя с внутренним радиусом —0,7 /г и внешним радиусом о 0,8 А. [c.80]

Итак, уравнение (58) для тонкого кольцевого испарителя принимает, Ме- l + (//Л)a-f(s//t)2 [c.80]

Однородность по толщине покрытия, получаемого от такого тонкого кольцевого испарителя, легко описать, используя толщину в центре подложки (при / = 0) [c.80]

На рис. 25 представлены результаты машинного расчета распределения покрытия по толщине для испарителей сравнительно большого диаметра. Вызывает удивление тот факт, что испаритель с радиусом 5 = 0,5Л дает распределение, близкое к распределению от одиночного точечного источника. Дальнейшее увеличение радиуса испарителя улучшает однородность пленки вблизи центра подложки, но не столь эффективно, как в случае кольцевого испарителя. Для дисковых испарителей с малым диаметром уравнение (62) можно разложить в ряд, в результате чего имеем следующее выражение [c.81]

Численные оценки этого выражения показывают, что эти распределения по толщине в пределах десятых долей процента совпадают с распределением от испарителя с одним элементом поверхности. Уравнение (62) можно использовать для вывода распределения по толщине от кольцевого испарителя конечной ширины, если количество вещества, испаренного внутренним диском, вычесть из количества вещества, испаренного полным диском. Распределение по толщине от такого реального кольцевого испарителя с оптимальными размерами (5 от 0,7 до 0,8А) представлено на рис. 27 (пунктирная линия, TR). Несмотря на то, что ширина такого испарителя относительно велика, однако распределение по толщине в этом случае очень близко к распределению от бесконечно тонкого кольца с в = 0,75А. [c.81]

В заключение следует отметить, что распределения по толщине, полученные от дискового или кольцевого испарителя, диаметр или ширина которых конечны, но малы по сравнению с расстоянием испаритель — подложка, адекватно описываются формулами для источника с одним элементом поверхности и тонкого кольца. Поскольку кольцевые испарители с большим диаметром создают в центре однородную толщину пленки на значительно большей поверхности, чем малые испарители, существенно улучшить распределение за счет увеличения размера испарителя в виде обычной плоской нити или тигля невозможно. Преимущество испарителей с большой поверхностью заключается в первую очередь в том, что они при необходимых для испарения температурах нити имеют большую скорость испарения с соответственно низким давлением паров. Следовательно, в таких испарителях вероятность химического взаимодействия между испаряемым веществом и материалом испарителя уменьшается. [c.82]

Наиболее серьезные требования к однородности толщин пленок предъявляются в производстве оптических покрытий [147]. По этой причине техника, удовлетворяющая этим требованиям, была развита в связи с осаждением многослойных диэлектрических покрытий. Были разработаны методы, основанные на идее, что распределение, идентичное распределению от кольцевого испарителя, может быть получено либо вращением эксцентрично расположенного испарителя напротив неподвижной подложки, либо вращением подложки напротив эксцентрично расположенного испарителя. Поскольку вращение испарителя имеет определенные экспериментальные трудности, связанные с токонесущими вводами и контролем температуры, то более предпочтительным является вращение подложки. В последнем случае можно одновременно получать однородное покрытие на нескольких подложках, расположенных на равном расстоянии от центра. [c.88]

Идентичность распределений по толщине, получаемая как в случае эксцентрично расположенного испарителя малой площади и вращающейся подложки, так и от тонкого кольцевого испарителя впервые была отмечена Фишером и Платтом [148], и в дальнейшем этот принцип исполь- [c.88]

Ре Два проволочных кольцевых испарителя. Скорость испарения контролировалась с помощью кварцевого резонатора 300 Пленки пермаллоя, с1 = юА-с-1 [238] [c.120]

Непрерывный ввод в аппарат борнеолов осуществлен посредством ленточного элеватора 1 и двух питателей лопастного 2. где происходит взрыхление борнеола, и шнекового 3. Последний является одновременно затвором. Борнеолы попадают в кольцевой испаритель 4, отделенный от верхней камеры и нижнего конуса плитами 5, в которые ввальцованы трубки с катализатором. Пространство между трубками заполнено парами ВОТ. Борнеолы испаряются за счет тепла, поступающего через внутреннюю стенку кольцевого испарителя. Пары борнеолов нз кольцевого испарителя по трубе 6 и змеевику 7 поступают в обогретую нижнюю коническую часть аппарата и оттуда проходят через трубки, заполненные катализатором в обогретую верхнюю камеру 8. Отсюда по магистральной трубе 9 пары камфары выводятся на вращающийся барабан конденсатора непрерывного действия 10. Снятую ножами с поверхности барабана непрерывного конденсатора камфару с помощью щнека-затвора выгружают в вагонетку 12. [c.121]

Соль, предназначенная для большинства других целей, вырабатывается из раствора в закрытых испарителях с подвесной паровой камерой и трубчатым кипятильником выпарного аппарата (каландрийных испарителях), которые вернее следует называть высаливающими испарителями. При этом нельзя осуществить контроля за размером кристаллов, поэтому получаются мелкие кристаллы, редко диаметром крупнее 1,5 мм. Обычно на практике применяют пониженное давление в испарителе, что обеспечивает удаление растворителя, снижает расход тепловой энергии или уменьшает рабочую температуру раствора. Кольцевые испарители применяются в производстве сахара и обычной соли. Иногда, как в производстве сахара-рафинада, концентрированный раствор из испарительной системы подается в отдельный испаритель, где жидкость с помощью особых средств внезапно оказывается в условиях вакуума для получения массы небольших кристаллов правильной формы. [c.264]

Рис. 26. Испарение из элеиевтм 4А кольцевого испарителя ва элемевт подложки dAr в плоскости Х У г

Рис. 27. Раснределенне пленки по толщине для испарителя с малой поверхности (5) и бесконечно тонкого кольцевого испарителя (сплошные линии).

Почти во всех случаях, когда удавалось получить однородное покрытие на больших площадях, в качестве испарителей использовались кольцевые испарители большого диаметра. Все эти случаи рассмотрены в обзоре Берндта [139]. Простейшая форма кольцевого испарителя — круглая проволочная петля испарение вещества происходит со всей поверхности проволоки. Интегрирование потоков с отдельных элементов вити такого [c.87]

Испарение из двух испарителей. При производстве многослойных пленочных структур широко используют установки, в которых два или более испарителей для различных веществ размещают в одной и той же вакуумной системе. При одновременной работе двух испарителей можно получать. многоко.мпонентные пленки, которые при непосредственном испарении получить невозможно. При этом используются те же типы испарителей, что и при испарении из одного испарителя. Широко используются прямонакальные эффузионные ячейки [232—235], электронные пушки [236, 237] и проволочные кольцевые испарители [238]. Для исключения взаимного загрязнения испарители должны быть разделены экранами эти экраны экранируют один испаритель от паров другого, но не закрывают подложку. Для облегчения независимой установки температуры осуществляют тепловую изоляцию испарителей [233]. [c.116]

Справочник химика 21

Химия и химическая технология